[实用新型]一种多晶硅检测用单晶提拉装置有效
| 申请号： | 201120570490.0 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202465945U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 侯强 | 申请（专利权）人： | 侯强 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 赵明辉 |
| 地址： | 753200 宁夏回族自治区石嘴*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 检测 用单晶提拉 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅检测用单晶提拉装置，包括炉体(9)，以及在该炉体(9)上方安装的上轴升降旋转机构(8)，和在该炉体(9)下方安装的下轴升降旋转机构(11)，其特征在于：所述上轴升降旋转机构(8)中的上轴(1)从炉体(9)上方伸入炉室内，而下轴升降旋转机构(11)中的下轴(4)从炉体(9)下方也伸入炉室内，其中上轴(1)通过石墨夹头(2)与籽晶(5)连接，而在下轴(4)上安装有一石墨托盘(7)，在该石墨托盘(7)上安装有一坩埚(6)从而放置硅料，在该坩埚(6)旁环绕有高频感应加热线圈(3)。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅检测用单晶提拉装置，其特征在于：其中上轴(1)和下轴(4)与炉室接触处均气密封。
3.如权利要求1或2所述的一种多晶硅检测用单晶提拉装置，其特征在于：其中坩埚(6)为石英材质。
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