[发明专利]机电换能器装置和分析物信息获取设备

权利要求书

1.一种机电换能器装置，包括：

第一基板；

机电换能器元件，被二维地排列在第一基板的前表面上并被配置为提供声波与电信号之间的转换；

电气布线基板，所述电气布线基板为与第一基板的后表面电连接的第二基板；

第一声学匹配层，被设置在第一基板与第二基板之间；

声学衰减部件，被布置于第二基板的后表面上；和

第二声学匹配层，被设置在第二基板与声学衰减部件之间。

2.根据权利要求1的机电换能器装置，其中，机电换能器元件包含电容型机电换能器元件，所述电容型机电换能器元件具有振动膜、被布置于振动膜上的第一电极、以及被布置于如下位置处的第二电极，在所述位置处第二电极面向第一电极并且第二电极与第一电极之间布置有间隙。

3.根据权利要求1或2的机电换能器装置，其中，第一声学匹配层的声学阻抗比第一基板的声学阻抗小并且比第二基板的声学阻抗大。

4.根据权利要求1～3中的任一项的机电换能器装置，其中，对于从机电换能器元件发射的声波的中心频率的波长，第一声学匹配层具有作为第一声学匹配层中的声波的波长的1/4的厚度，并且，第一声学匹配层的声学阻抗是第一基板的声学阻抗与第二基板的声学阻抗的几何平均值。

5.根据权利要求1～3中的任一项的机电换能器装置，其中，对于在第一基板的厚度方向上共振的声波的共振频率的波长，第一声学匹配层具有作为第一声学匹配层中的声波的波长的1/4的厚度，并且，第一声学匹配层的声学阻抗是第一基板的声学阻抗与第二基板的声学阻抗的几何平均值。

6.根据权利要求1～3中的任一项的机电换能器装置，

其中，第一声学匹配层的声学阻抗和第二声学匹配层的声学阻抗中的至少一个在厚度方向上具有梯度，并且，

其中声学阻抗在由第一基板、第二基板、第一声学匹配层和第二声学匹配层形成的界面中的每一个界面处彼此对应。

7.根据权利要求1～5中的任一项的机电换能器装置，

其中，声学衰减部件的声学阻抗与第二基板的声学阻抗对应，并且，

其中声学衰减部件与第二声学匹配层一体化地形成。

8.一种分析物信息获取设备，包括：

根据权利要求1～7中的任一项的机电换能器装置；

光源，被配置为发射脉冲光；和

信号处理系统，被配置为处理由机电换能器装置检测的信号，

其中，分析物信息获取设备用从光源发射的光照射分析物，通过机电换能器装置检测作为发射在分析物上的光的光声效应的结果而产生的声波，并且通过信号处理系统的处理获取分析物内部的物理信息。