[发明专利]大口径平面光学元件抛光盘表面平整性在线检测系统有效
| 申请号： | 201210018648.2 | 申请日： | 2012-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102528639A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 郭隐彪;潘日;张东旭;杨峰;陈梅云 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 口径 平面 光学 元件 抛光 表面 平整 在线 检测 系统 | ||
【权利要求书】：
1.大口径平面光学元件抛光盘表面平整性在线检测系统，其特征在于设有2个DSP摄像头、支撑架、数据传输装置和计算机；所述支撑架固定在防震块上，所述支撑架和防震块一起锁于机床床身上并处于竖直方向，所述2个DSP摄像头设于支撑架下方，2个DSP摄像头间的距离为人眼距离，每个DSP摄像头与水平方向呈5～10°角，2个DSP摄像头的重合拍摄区域径向长度为抛光盘的半径，通过设置抛光机床旋转轴的转速以及2个DSP摄像头同时拍摄的时间，产生2张不同角度的画面形成视差，然后通过数据传输装置将采集到的2张带有视差的图像输出至计算机进行处理。
2.如权利要求1所述的大口径平面光学元件抛光盘表面平整性在线检测系统，其特征在于所述支撑架通过螺钉固定在防震块上。
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