[发明专利]石墨加热炉

权利要求书

1.一种光纤母材的制造方法，其特征在于，包括对光纤用多孔质母材进行脱水和烧结的工序，在所述对光纤用多孔质母材进行脱水和烧结的工序中，使用炉体内的至少一部分利用石墨形成的石墨加热炉，

所述石墨加热炉具有：

气体供给部，其向所述炉体内供给氮气；

排气部，其将所述炉体内的炉体内气体向所述炉体外排出，

被供给到所述炉体内的氮气的露点温度是-80℃以下，

所述炉体内的压力相对于所述炉体外的大气压是140Pa以上。

2.一种光纤母材的制造方法，其特征在于，包括延伸光纤母材的工序，在所述延伸光纤母材的工序中，使用炉体内的至少一部分利用石墨形成的石墨加热炉，

所述石墨加热炉具有：

气体供给部，其向所述炉体内供给氮气；

排气部，其将所述炉体内的炉体内气体向所述炉体外排出，

被供给到所述炉体内的氮气的露点温度是-80℃以下，

所述炉体内的压力相对于所述炉体外的大气压是140Pa以上。

3.如权利要求1或2所述的光纤母材的制造方法，其特征在于，所述排气部具有将所述炉体内气体的至少一部分向大气中排放的排放部。

4.如权利要求1或2所述的光纤母材的制造方法，其特征在于，具有：

压力检测工序，其检测所述炉体内的压力；

压力控制工序，其根据所述压力检测工序的检测结果，进行使所述气体供给部供给的氮气的供给量和所述排气部排出的所述炉体内气体的排出量中的至少一方变化的控制。

5.如权利要求1或2所述的光纤母材的制造方法，其特征在于，具有：

浓度检测工序，其检测所述炉体内的氰气浓度；

浓度控制工序，其根据所述浓度检测工序的检测结果，进行使所述气体供给部供给的氮气的供给量和所述排气部排出的所述炉体内气体的排出量中的至少一方变化的控制。

6.如权利要求1或2所述的光纤母材的制造方法，其特征在于，所述炉体内的温度是2200K以下。

7.一种光纤的制造方法，其特征在于，包括对光纤母材进行拉丝的工序，在所述对光纤母材进行拉丝的工序中，使用炉体内的至少一部分利用石墨形成的石墨加热炉，

所述石墨加热炉具有：

气体供给部，其向所述炉体内供给氮气；

排气部，其将所述炉体内的炉体内气体向所述炉体外排出，

被供给到所述炉体内的氮气的露点温度是-80℃以下，

所述炉体内的压力相对于所述炉体外的大气压是140Pa以上。

8.如权利要求7所述的光纤的制造方法，其特征在于，所述排气部具有将所述炉体内气体的至少一部分向大气中排放的排放部。

9.如权利要求7所述的光纤的制造方法，其特征在于，具有：

压力检测工序，其检测所述炉体内的压力；

压力控制工序，其根据所述压力检测工序的检测结果，进行使所述气体供给部供给的氮气的供给量和所述排气部排出的所述炉体内气体的排出量中的至少一方变化的控制。

10.如权利要求7所述的光纤的制造方法，其特征在于，具有：

浓度检测工序，其检测所述炉体内的氰气浓度；

浓度控制工序，其根据所述浓度检测工序的检测结果，进行使所述气体供给部供给的氮气的供给量和所述排气部排出的所述炉体内气体的排出量中的至少一方变化的控制。

11.如权利要求7所述的光纤的制造方法，其特征在于，所述炉体内的温度是2200K以下。