[发明专利]老化试验方法

说明书

技术领域

本发明涉及实施作为对元件的筛选是有效的通电试验的老化试验（burn-in test）的方法。特别是本发明涉及具备热辅助磁记录用光源的光源单元的老化试验方法。

背景技术

在使用磁头和介质的磁记录的领域中，伴随着磁盘装置的高记录密度化，要求薄膜磁头和磁记录介质的进一步提高。作为薄膜磁头，现在广泛使用由读出用的磁阻（MR）元件和写入用的电磁变换元件层叠起来的结构构成的复合型薄膜磁头。

另一方面，磁记录介质是可以说是磁性微粒子集合起来的不连续体，各个磁性微粒子成为单磁区结构。在这里，1个记录位由多个磁性微粒子构成。因此，为了提高记录密度，必须缩小磁性微粒子，使记录位的边界的凹凸减少。可是，当缩小磁性微粒子时，伴随体积减少的磁化的热稳定性下降成为问题。

作为该问题的对策，考虑增大磁性微粒子的磁各向异性能量Ku。可是，该Ku的增加导致磁记录介质的各向异性磁场（矫顽磁力）增加。相对于此，通过薄膜磁头进行的写入磁场强度的上限，被构成磁头内的磁芯的软磁性材料的饱和磁通密度大致决定。因此，当磁记录介质的各向异性磁场超过根据该写入磁场强度的上限决定的容许值时，不能进行写入。现在，作为解决这样的热稳定性问题的1个方法，提出了所谓热辅助磁记录方式，其使用Ku大的磁性材料，另一方面通过在施加写入磁场稍前对磁记录介质赋予热，从而减小各向异性磁场来进行写入。

在该热辅助磁记录方式中，使用作为从通过照射的激光而激励的等离子体激元（plasmon）来生成Near-Field的金属片的Near-Field探针、即所谓的等离子体激元天线的方法是通常为人所知的。

在该热辅助磁记录方式中，为了稳定地对所希望的位置供给充分高强度的光，关键是在磁头内的何处且以什么方式设置高输出的光源。

关于该光源的设置，例如在美国专利第7538978号说明书（US Patent No.7,538,978 B2）中，公开了将包含激光二极管的激光单元搭载在滑橇（slider）的背面的结构，此外，在美国专利申请公开第2008/0056073号说明书（UP Patent Publication No.2008/0056073 A1）中，公开了将在激光二极管元件单片地集成有反射镜的结构体搭载在滑橇的背面的结构。

进而，本申请发明者们提出了将具备光源的光源单元连接在具备磁头元件的滑橇的介质相向面的相反面的端面（背面）而构成的所谓“复合滑橇构造”的热辅助磁记录头。

这样的“复合滑橇构造”例如在美国专利申请公开第2008/043360号说明书（UP Patent Publication No.2008/043360 A1）和美国专利申请公开第2009/052078号说明书（UP Patent Publication No.2009/052078 A1）中公开。

而且，在“复合滑橇构造”的热辅助磁记录头中，存在以下的（1）~（4）所示的优点。

（1）因为在滑橇中介质相向面与集成面垂直，所以与现有的薄膜磁头的制造工序的亲和性良好，

（2）能够使光源远离介质相向面，能够回避在工作中对光源直接造成机械的冲击的事态，

（3）在磁头内，因为不需要设置光拾取透镜（optical pickup lens）等的要求非常高精度的光学部件，以及为了光纤等的连接而要求特别构造的光学部件，所以能够减少制造工时，是低成本的，

（4）关于制造工序中的特性评价和可靠性评价，例如能够分别个别地评价作为光源的激光二极管和磁头元件，结果，能够避免将光源和磁头元件全部设置在滑橇内的情况下的、光源的成品率与滑橇的成品率乘积地造成影响导致磁头整体的成品率显著降低的事态。

在这里，考察进行光源特别是具备激光二极管的光源单元的可靠性评价。作为这样的光源的可靠性评价，进行老化试验是有效的。在这里，老化试验是用于对实验对象（在这里是光源单元具备的激光二极管）通电，在通电的状态下对试验对象的1个特性在高温下（例如80℃的加热条件下）的经时变化进行计测、评价，进行试验对象的筛选的试验。

可是，这样的老化试验为了对1个激光二极管进行评价，需要例如数小时~数十小时的非常长的时间。

因此，作为其对策，以在光源的制造工序中切断分离成各个光源芯片之前的条（bar）的状态并行地评价多个激光二极管是非常有效的。通过进行这样的并行处理，能够一次实施大量的激光二极管的老化试验，能够实现评价工序的工时和时间的大幅缩短。