[发明专利]一种Ru-Li共掺杂氧化镍薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201210143328.X | 申请日： | 2012-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102653863A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 李建昌;侯雪艳;王玉磊 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;H01L45/00 |
| 代理公司： | 沈阳东大专利代理有限公司 21109 | 代理人： | 梁焱 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ru li 掺杂 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种Ru-Li共掺杂氧化镍薄膜的制备方法，其特征在于按照以下步骤进行：
（1）称取1.24-1.25gNi(CH3COO)2·4H2O，溶于25mL乙二醇甲醚中，加入与Ni(CH3COO)2·4H2O等摩尔的乙醇胺，在60-70 ℃的水浴条件下搅拌30-40 min后，加入质量比为3：（1-5）的RuCl3·3H2O和CH3COOLi继续搅拌90-100 min，得到Ru-Li共掺杂的氧化镍溶胶，将其在空气中静置陈化24-48h；
（2）将基片依次在丙酮、无水乙醇和去离子水中超声波清洗10-15min，再用无水乙醇冲洗，之后在加热平台上烘干；
（3）用匀胶机将静置陈化后得到的Ru-Li共掺杂氧化镍溶胶在基片上进行旋转涂膜，先在800-1000r/min的转速下向基片滴加溶胶5-10s，然后将基片在3000 -3500r/min的转速下旋转30-40 s，基片表面形成湿膜，将基片置于加热平台上于100-120 ℃温度下加热烘干，重复上述涂膜过程两次；
（4）最后以6℃/min的升温速率，在300-600 ℃条件下在空气中对薄膜热处理1-2 h，得到Ru-Li共掺杂氧化镍薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种Ru-Li共掺杂氧化镍薄膜的制备方法，其特征在于所述的基片是Si基片、ITO导电玻璃基片或玻璃基片。
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