[发明专利]一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置无效
| 申请号： | 201210152163.2 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN102660731A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 沈常宇;刘洋;马启飞;蒋婷婷;钟川;褚金雷;邹新;牟晟;董新永;李萍 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 离子 溅射 光纤 合金 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置，其特征在于：由固定套管(1)、泵(2)、阀门(3)、真空室(4)、钯合金靶(5)、加热棒(11)、离子引出器(6)、光纤(7)、不锈钢管(8)、转轮(9)、电机(10)和底座(12)组成；光纤(7)从固定套管(1)穿入进入不锈钢针管(8)中，从不锈钢针管(8)穿出的光纤(7)缠绕在电机(10)上方的转轮(9)上，使钯合金钯(5)被加热棒加热并被蒸发，被蒸发钯合金离子可沉积在旋转的光纤(7)上，在光纤表面形成钯合金膜层，多余的靶合金离子被离子引出器(6)引出装置。
2.根据权利要求1所述的一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置，其特征在于：固定套管(1)的长度变化范围为10-50cm；电机转速为0-60rpm可调。
3.根据权利要求1所述的一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置，其特征在于：被钯合金镀膜光纤的种类为单模光纤或者多模光纤或者光子晶体光纤。
4.根据权利要求1所述的一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置，其特征在于：光纤被镀膜的长度范围根据固定套管(1)的长度范围可调，镀膜长度范围为10cm-200cm。
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