[发明专利]一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的装置及方法

权利要求书

1.一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的装置，其特征在于：所述装置包含有激光刻蚀设备，所述激光刻蚀设备包含有激光器（1）、光闸（2）、1/2波片（3）、格兰棱镜（4）、扩束镜（5）、全反镜片（6）、振镜系统（7）和远心场镜（8），所述激光器（1）发出的激光依次经光闸（2）、1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入扩束镜（5）对光束进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束准直后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）的激光经远心场镜（8）后聚焦到作为待加工件（12）的有机玻璃上。

2.如权利要求1所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的装置，其特征在于：所述激光器（1）为高频率短脉冲激光器。

3.如权利要求1所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的装置，其特征在于：所述装置包含有高度测量仪（16），且高度测量仪（16）设置于振镜系统（7）上。

4.如权利要求3所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的装置，其特征在于：所述高度测量仪（16）为非接触式高度测量仪。

5.如权利要求1或2或3所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的装置，其特征在于：所述激光器（1）、振镜系统（7）和高度测量仪（16）均通过通讯系统（15）与工控机（14）相连。

6.如权利要求5所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的装置，其特征在于：所述作为待加工件（12）的有机玻璃通过夹紧气缸（13）进行固定，所述作为待加工件（12）的有机玻璃的铜膜层的上方设置有一CCD对位观察系统（9）。

7.如权利要求6所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的装置，其特征在于：所述作为待加工件（12）的有机玻璃的铜膜层的上方两侧分别设置有集尘系统（10）和吹气系统（11）。

8.一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜层的方法，其特征在于：所述方法采用如权利要求6所述的一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的装置，该方法包含有以下步骤：

步骤一、激光器（1）发出的激光经1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后，再经扩束镜（5）准直扩束后，再通过振镜系统（7）和具有较小焦距的远心场镜（8）聚焦，使聚焦光斑在5um～20um； 

步骤二、将有机玻璃导的四壁固定在夹紧气缸（13）上，配合着高度测量仪（16）进行实时测量，将测量数据反馈给工控机（14），工控机（14）会对数据进行处理从而调整焦距，有效的保证焦点始终聚焦在有机玻璃上下表面的铜膜上；

步骤三、进行CCD定位；利用具有CCD自动抓靶功能的CCD对位观察系统（9），只需第一次在软件中建立模板，将导入的图形的对位图层靶标位置与平台坐标中样品靶标位置一一设置对应，后续同一批次产品直接自动抓靶即可完成定位。

9.如权利要求8所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的方法，其特征在于：所述方法还包含有步骤四：激光按照设计图形进行蚀刻时，同时打开设置于作为待加工件（12）的有机玻璃的铜膜的上方两侧的集尘系统（10）和吹气系统（11），确保蚀刻产生的粉尘全部吸入集尘系统（10）中。

10.如权利要求8所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面铜膜的方法，其特征在于：所述激光器（1）为M²<1.5的高频率的脉冲激光器，所述扩束镜（5）为2X-20X的扩束镜，所述远心场镜（8）的规格为F30~F250。