[发明专利]半导体封装件及其制法有效
申请号: | 201210192571.0 | 申请日: | 2012-06-12 |
公开(公告)号: | CN103426855A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 萧惟中;林俊贤;白裕呈;洪良易;孙铭成;唐绍祖;蔡瀛洲;蓝章益 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/31;H01L21/56;H01L21/683 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 及其 制法 | ||
1.一种半导体封装件,其包括:
封装基板,其包含绝缘保护层与埋设于该绝缘保护层中的线路层,该线路层具有相对的第一表面与第二表面,且该线路层包含第一子线路层、第二子线路层与第三子线路层,其中,该线路层的第一表面外露于该绝缘保护层,又该绝缘保护层具有至少一开孔,以令该线路层的部份第二表面外露于该开孔;
芯片,其设于该封装基板上,且电性连接该线路层的第一表面;以及
封装胶体,其形成于该封装基板上,且包覆该芯片,并外露该开孔。
2.根据权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该线路层的第一表面齐平于该绝缘保护层的表面。
3.根据权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该第一子线路层为金或银,该第二子线路层为镍,且该第三子线路层为铜。
4.根据权利要求3所述的半导体封装件,其特征在于,该线路层的第二表面上形成有表面处理层。
5.根据权利要求4所述的半导体封装件,其特征在于,该表面处理层的材质为金或银。
6.根据权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该第一子线路层为金,该第二子线路层为镍,且该第三子线路层为钯。
7.根据权利要求6所述的半导体封装件,其特征在于,该线路层的第二表面上形成有金属层。
8.根据权利要求7所述的半导体封装件,其特征在于,该金属层的材质为铜。
9.根据权利要求7所述的半导体封装件,其特征在于,该金属层上形成有表面处理层。
10.根据权利要求9所述的半导体封装件,其特征在于,该表面处理层的材质为锡、银、镍、钯、金、焊锡、无铅焊锡或其组合的其中一者。
11.根据权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该绝缘保护层为防焊层或封装胶材。
12.一种半导体封装件的制法,其包括:
形成线路层于第一承载板上,该线路层具有相对的第一表面与第二表面,且该线路层的第一表面与该第一承载板结合;
形成绝缘保护层于该第一承载板与该线路层上,且于该绝缘保护层上形成有至少一开孔,以令该线路层的部份第二表面外露于该开孔;
结合第二承载板于该绝缘保护层上;
移除该第一承载板,以外露该线路层的第一表面与该绝缘保护层;
置放芯片于该绝缘保护层上,且电性连接该芯片与线路层的第一表面;
形成封装胶体于该绝缘保护层与该线路层的第一表面上,以包覆该芯片;以及
移除该第二承载板。
13.根据权利要求12所述的半导体封装件的制法,其特征在于,形成该第一承载板及第二承载板的材质为玻璃纤维板、玻璃或金属。
14.根据权利要求12所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该线路层的第一表面齐平于该绝缘保护层的表面。
15.根据权利要求12所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该线路层还包括第一子线路层、第二子线路层与第三子线路层。
16.根据权利要求15所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该第一子线路层为金或银,该第二子线路层为镍,且该第三子线路层为铜。
17.根据权利要求16所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该制法还包括形成表面处理层于该开孔中的线路层的第二表面上。
18.根据权利要求17所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该表面处理层的材质为金或银。
19.根据权利要求15所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该第一子线路层为金,该第二子线路层为镍,且该第三子线路层为钯。
20.根据权利要求19所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该制法还包括形成金属层于该线路层上。
21.根据权利要求20所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该金属层的材质为铜。
22.根据权利要求20所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该制法还包括形成表面处理层于该金属层上。
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