[发明专利]一种数据校准方法及装置

权利要求书

1.一种数据校准方法，用于标准气配气仪，所述标准气配气仪包含依次相连的DA转换器、质量流量控制器MFC和AD转换器，其特征在于，所述方法包括：

获取设定值数组，所述设定值数组包含多个用于输入的设定值；

依次将所述设定值数组中的设定值经所述DA转换器转换后输入到所述质量流量控制器MFC；

依次获取经所述AD转化器转换的所述质量流量控制器MFC的输出值，以组成输出值数组，所述输出值数组中的输出值与所述设定值数组中的设定值一一对应；

根据所述设定值数组和所述输出值数组，获取所述标准气配气仪的输入输出数据偏差特征；

根据所述输入输出数据偏差特征对进出所述标准气配气仪的数据进行校正。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述设定值数组中的设定值具体为所述质量流量控制器MFC满量程流量内的数字，由小到大梯度递增或由大到小梯度递减。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述依次将所述设定值数组中的设定值经所述DA转换器转换后输入到所述质量流量控制器MFC的步骤，具体包括：

每隔指定周期，依次将所述设定值数组中的设定值经所述DA转换器转换后输入到所述质量流量控制器MFC，所述指定周期根据所述质量流量控制器MFC从接收输入到稳定的时间长度确定。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述根据所述设定值数组和所述输出值数组，获取所述标准气配气仪的数据偏差特征的步骤，具体包括：

对所述设定值数组和所述输出值数组进行函数曲线拟合，获取输入输出数据偏差函数曲线；

所述根据所述输入输出数据偏差特征对进出所述标准气配气仪的数据进行校正的步骤，具体包括：

根据所述输入输出数据偏差函数曲线对进出所述标准气配气仪的数据进行校正。

5.一种数据校准装置，用于标准气配气仪，所述标准气配气仪包含依次相连的DA转换器、质量流量控制器MFC和AD转换器，其特征在于，所述装置包括：

设定值获取单元，用于获取设定值数组，所述设定值数组包含多个用于输入的设定值；

测试输入控制单元，用于依次将所述设定值数组中的设定值经所述DA转换器转换后输入到所述质量流量控制器MFC；

测试输出获取单元，用于依次获取经所述AD转化器转换的所述质量流量控制器MFC的输出值，以组成输出值数组，所述输出值数组中的输出值与所述设定值数组中的设定值一一对应；

偏差特征获取单元，用于根据所述设定值数组和所述输出值数组，获取所述标准气配气仪的输入输出数据偏差特征；

校正单元，用于根据所述输入输出数据偏差特征对进出所述标准气配气仪的数据进行校正。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述设定值数组中的设定值具体为所述质量流量控制器MFC满量程流量内的数字，由小到大梯度递增或由大到小梯度递减。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述测试输入控制单元具体用于：

每隔指定周期，依次将所述设定值数组中的设定值经所述DA转换器转换后输入到所述质量流量控制器MFC，所述指定周期根据所述质量流量控制器MFC从接收输入到稳定的时间长度确定。

8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于：

所述偏差特征获取单元具体用于：

对所述设定值数组和所述输出值数组进行函数曲线拟合，获取输入输出数据偏差函数曲线；

所述校正单元具体用于：

根据所述输入输出数据偏差函数曲线对进出所述标准气配气仪的数据进行校正。