[发明专利]一种有机电致发光器件及其制备方法无效
申请号: | 201210290404.X | 申请日: | 2012-08-15 |
公开(公告)号: | CN103594640A | 公开(公告)日: | 2014-02-19 |
发明(设计)人: | 周明杰;王平;钟铁涛;陈吉星 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/54;H01L51/56 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 518100 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有机 电致发光 器件 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及电致发光领域,尤其涉及一种有机电致发光器件及其制备方法。
背景技术
有机电致发光器件(OLED)是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在ITO玻璃上制备一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层,再在发光层上方制备一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时,发光层就产生光辐射。
OLED器件具有主动发光、发光效率高、功耗低、轻、薄、无视角限制等优点,被认为是最具有发展前景的照明器件。作为一项崭新的照明和显示技术,OLED技术在过去的十多年里发展迅猛,取得了巨大的成就。由于全球越来越多的照明和显示厂家纷纷投入研发,大大的推动了OLED的产业化进程。
然而传统的有机电致发光器件普遍存在封装效果差、使用寿命短的问题。
发明内容
基于此,有必要提供一种封装效果良好、使用寿命较长的有机电致发光器件及其制备方法。
一种有机电致发光器件,包括依次层叠设置的导电基板、发光层、阴极、第一保护层、阻挡层及第二保护层,所述有机电致发光器件还包括封装膜,所述封装膜将所述发光层、阴极、第一保护层、阻挡层及第二保护层封装于所述导电基底上,其中,所述第一保护层的材料为CuPc、NPB、Alq3、SiO、MgF2或ZnS,所述阻挡层的材料为SiCON,所述第二保护层的材料为SiO。
在其中一个实施例中,所述第一保护层的厚度为200~300nm。
在其中一个实施例中,所述阻挡层的厚度为350~550nm。
在其中一个实施例中,所述阻挡层的数量至少为3个。
在其中一个实施例中,所述第二保护层的厚度为100~150nm。
在其中一个实施例中,还包括在所述导电基板与所述发光层之间依次设置的空穴注入层和空穴传输层,以及在所述发光层与所述阴极之间依次设置的电子传输层和电子注入层。
一种有机电致发光器件的制备方法,包括如下步骤:
在导电基板上形成发光层;
在所述发光层上形成阴极;
使用真空蒸发的方式在所述阴极上蒸镀CuPc、NPB、Alq3、SiO、MgF2或ZnS,形成第一保护层,其中,蒸发速度为
使用等离子体增强化学气相沉积法,在含有NH3、O2及Ar的气体氛围中,以六甲基二硅胺配合六甲基二硅氧烷或四乙氧基硅烷为原料,在所述第一保护层上沉积SiCON,形成阻挡层,其中,六甲基二硅胺的流量为4~14sccm,六甲基二硅氧烷或四乙氧基硅烷的流量为15~20sccm,Ar的流量为50~70sccm,所述NH3和O2的混合气体的流量为14~28sccm,NH3占所述NH3和O2的混合气体的体积比为10~80%;
采用真空蒸镀的方式在所述阻挡层上制备SiO,形成第二保护层,其中,蒸发速度为以及
采用封装膜配合所述导电基板对所述发光层、所述阴极、所述第一保护层、所述阻挡层及所述第二保护层封装进行封装处理,得到所述有机电致发光器件。
在其中一个实施例中,还包括在制备发光层之前采用真空蒸镀的方法在所述导电基板上依次制备空穴注入层及空穴传输层的步骤;
以及在制备阴极之前,采用真空蒸镀的方法在所述发光层上制备电子传输层及电子注入层的步骤。
在其中一个实施例中,所述阻挡层的数量至少为3个。
在其中一个实施例中,所述封装处理是使用紫外光固化胶涂布在封装膜的边缘,然后在波长为200~400nm,光强为10~15mW/cm2的紫外光下对紫外光固化胶曝光300~400s。
上述有机电致发光器件在阴极上设置有第一保护层、阻挡层及第二保护层,其中,第一保护层可以将阴极与阻挡层隔开,防止阴极受到后续加工工艺的破坏;阻挡层即SiCON层具有较好的防氧防水功能;外层的第二保护层也即SiO层可以在SiCON层上形成致密的保护膜,防止SiCON层直接遭受水氧腐蚀,从而阻挡层的阻挡效果进一步增加,阻挡寿命延长。上述有机电致发光器件的防水性能可达10-4g/m2·天,封装效果好,寿命可达4000小时以上。
附图说明
图1为一实施方式的有机电致发光器件的结构示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择