[发明专利]用于太阳能电池的硒化方法及其硒化装置

权利要求书

1.一种用于太阳能电池的硒化方法，包含：

步骤A：将一个表面形成有一个前驱物层的基板单元放入一个加热腔体内；

步骤B：将该加热腔体抽真空；

其特征在于，该硒化方法还包含：

步骤C：提升该加热腔体内的气流循环性，并将硒化反应气体通入该加热腔体内以增加该加热腔体内的气压值，同时增加该加热腔体内的温度；

步骤D：持续将硒化反应气体通入该加热腔体内，使该加热腔体内的气压值增加至2~6atm之后进行退火，使硒化反应气体与该前驱物层反应形成一个光吸收层。

2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的硒化方法，其特征在于：在步骤D中，持续将硒化反应气体通入该加热腔体内，使该加热腔体内的气压值增加并维持在5atm。

3.根据权利要求2所述的用于太阳能电池的硒化方法，其特征在于：该前驱物层的材料为铜铟镓或铜铟，而硒化反应气体为硒化氢或硒化氢与硫化氢的混合。

4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的用于太阳能电池的硒化方法，其特征在于：在步骤D中，退火温度为500~600℃，并在持温40~60分钟之后停止对该加热腔体加热。

5.一种用于太阳能电池的硒化装置，通过硒化反应气体使所述太阳能电池的半成品发生硒化反应，而该硒化装置包含一个加热腔体，以及一个安装在该加热腔体上的真空机构，该加热腔体包括一个供所述半成品放置的反应空间，以及一个围绕并对该反应空间加热的加热部，而该真空机构对该反应空间抽气；其特征在于，该硒化装置还包含一个安装在该加热腔体上并将硒化反应气体送入该反应空间的加压机构，以及一个安装在该反应空间内并使该反应空间内的硒化反应气体循环流动的气流循环机构。

6.根据权利要求5所述的用于太阳能电池的硒化装置，其特征在于：该气流循环机构包括一个可转动地安装于该反应空间内的风扇，以及一个位于该风扇与所述半成品之间的导流座，该导流座具有一个供硒化反应气体流动于所述半成品与该风扇之间的导流通道。

7.根据权利要求6所述的用于太阳能电池的硒化装置，其特征在于：该导流座的导流通道具有一个朝向所述半成品的大径开口，以及一个朝向该风扇且口径小于该大径开口的小径开口。

8.根据权利要求7所述的用于太阳能电池的硒化装置，其特征在于：该硒化装置还包含一个安装于该加热腔体的反应空间内的固定座单元，该固定座单元包括一个供所述半成品放置且供该导流座安装的固定板。

9.根据权利要求6至8中任一权利要求所述的用于太阳能电池的硒化装置，其特征在于：该加热腔体还包括分别设置在该加热部的相反两侧且与该加热部共同圈围该反应空间的一个安装部与一个开口部，该风扇、该真空机构及该加压机构安装于该安装部，所述半成品通过该开口部进出该反应空间。