[发明专利]一种高真空系统密封装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于真空系统中接通和截止气流领域，尤其是一种高真空系统密封装置。

背景技术

目前大部分油扩散泵采用挡板阀的结构，也有部分装置采用了翻板阀的结构。这些结构解决了真空密封问题，但是对低温深冷扑集系统无法起到保护作用。国内翻板阀存在以下缺点：（1）翻板时无调整，密封圈易被挤坏，泄露量大；（2）密封圈加工于阀体上，更换密封圈需拆下翻板阀阀板，影响生产效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于真空系统中接通和截止气流装置。这种装置的优点在于：真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成，通导能力达到90%以上，生产效率高，也可根据生产及设备的本身需要，可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外，阀板会自行关闭，将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离，起到安全保护深冷系统不被暴露大气和升温影响，且保护真空扩散泵泵油不易氧化的作用。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种高真空系统密封装置，包括真空室体、高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和K-800A扩散泵。适用于压力低于一个大气压至10-5Pa真空度范围内。可远距离使用控制和电器连锁控制。这种装置的优点在于：翻板阀连接于真空室体和冷凝罩之间，起着隔开或连通室体与真空抽气系统之作用。翻板阀采用驱动气缸驱动，驱动气缸由电气控制，实现自动动作；冷凝罩中装有深冷系统低温盘管，主要是为了使扩散泵的油蒸汽在泵口能更好的冷却、回流，盘管吸附高真空中的水蒸气，使泵发挥更大的抽气能力。

所述的高真空翻板阀，包括：驱动气缸、气缸转臂、阀板固定臂、阀板调整机构、阀板调平轴、阀板组成。适用于压力低于一个大气压至10-5Pa真空度范围内。可远距离使用电气控制。

所述的阀板调整机构主要由模具弹簧、调整丝杆、调整螺母、固定块、焊接柱组成。调整丝杆装上模具弹簧和调整螺母后与焊接柱连接，焊接柱焊接在阀板上，通过拧紧调整螺母来调节阀板与被压紧面的平行度。在驱动气缸的作用下，阀板绕旋转中心转动, 当阀板转动开始关闭时，阀板下边先与被密封面接触，此时调整调整螺母，调整到阀板关闭时密封圈不被磨切为准，阀板与被密封平面缓慢合上，合上时靠弹簧弹力使阀板平面与被密封平面自动调整平行，达到更佳密封；且能使密封圈与被密封面均匀接触，密封圈受力一致，处于弹性变形范围，延长了密封圈的使用寿命。

燕尾形密封槽加工在阀板上，密封圈在此装置中属于易损件，燕尾形密封槽加工在阀板上后，在阀板处于打开状态时即可以轻松方便的更换密封圈。

该发明的有益效果为：真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成，通导能力达到90%以上，生产效率高，也可根据生产及设备的本身需要，可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外，阀板会自行关闭，将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离，起到安全保护深冷系统不被升温和真空扩散泵泵油不易氧化的作用。

附图说明

本发明将通过例子并参照附图的方式说明，其中：

图1是一种高真空系统密封装置总图。

图2是一种高真空系统密封装置侧视图。

图3是一种高真空系统密封装置主视图。

图4是一种高真空系统密封装置的三个实施例，分别为关闭状态—中间状态—打开状态。

图中标记：1为真空室体，2为高真空翻板阀，3为低温盘管，4为冷凝罩，5为扩散泵，2-1为驱动气缸，2-2为气缸转臂，2-3为阀板固定臂，2-4为阀板调整机构，2-6为阀板调平轴。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

本说明书（包括任何附加权利要求、摘要和附图）中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

如图1：翻板阀2自成一独立部件，连接于室体与真空系统之间，驱动气缸2-1由自动控制其行程动作，驱动气缸2-1、驱动气缸转臂2-2、固定臂2-3、阀板调平轴2-5、阀板2-6相互连接成一体，由气缸2-1驱动绕旋转中心转动。

当翻板阀2处于关闭状态时，真空室体1与冷凝罩4隔开，室体1为大气状态；

当翻板阀2处于开启状态时，真空室体1与冷凝罩4连通，室体1为真空状态。