[发明专利]蓝宝石单晶炉隔热保温系统

权利要求书

1.一种用于蓝宝石单晶炉的隔热保温系统，包括中隔热层与下隔热层，其特征在于：

a)中隔热层内层为中心隔热钨屏，中心隔热钨屏和中隔热层通过定位销装配在腔体内壁设置的支撑钢板上，中心隔热钨屏以及中隔热层各层之间均通过中隔热层间隔钨丝弹簧均匀隔开；

b)中心隔热钨屏和中隔热层的顶部设有匹配的上隔热层，下隔热层则装配于下法兰的下铜盘上，与中心隔热钨屏和中隔热层匹配；

c）上隔热层中心设有同心的塔式隔热层，所述的塔式隔热层通过悬吊螺栓与上法兰连接并与上隔热层水平排布形成配合；

d）下隔热层、上隔热层、塔式隔热层各层间设有对应的定位孔，层间对应的定位孔之间设有等高的钼隔环，上隔热层、塔式隔热层中钼螺栓穿过各定位孔和层间钼隔环后，通过钼螺母固定，而下隔热层中由钨柱穿过定位孔和层间钼隔环，并将其串联固定。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉隔热保温系统，其特征在于：中心隔热钨屏由整块轧制金属钨板卷制或多块轧制金属钨板拼接而成的一层圆筒。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉隔热保温系统，其特征在于：中隔热层为9~11层分体嵌套装配圆筒式结构，各层筒式结构均采用整块轧制金属钼板卷制或多块轧制金属钼板拼接而成。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉隔热保温系统，其特征在于：

上隔热层、下隔热层、塔式隔热层均采用多层平行叠装式结构，其最内一层板材均采用轧制金属钨板，其余各层均采用轧制金属钼板。

5.根据权利要求1~4之一所述的蓝宝石单晶炉隔热保温系统，其特征在于：固定下隔热层的钨柱安装在下铜盘上，钨柱穿过下隔热层各层的定位孔和层间钼隔环并将其串联固定。