[发明专利]一种PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层的制备方法和PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层有效

专利信息
申请号: 201210364873.1 申请日: 2012-09-26
公开(公告)号: CN102839345A 公开(公告)日: 2012-12-26
发明(设计)人: 王海斗;邢志国;徐滨士;卢晓亮;李国禄;朱丽娜;马国政 申请(专利权)人: 中国人民解放军装甲兵工程学院
主分类号: C23C4/10 分类号: C23C4/10;H01L41/22
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王宝筠
地址: 100072 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 pbzr sub 0.52 ti 0.48 智能 涂层 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层的制备方法,其特征在于,包括:

在一基底表面上形成绝缘层;

在所述绝缘层表面上形成PbZr0.52Ti0.48O3传感层;

对所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层进行极化处理,使所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层具有压电效应。

2.根据权利要求1所述方法,其特征在于,所述在一基底表面上形成绝缘层,包括:

通过超音速等离子喷涂工艺在所述基底表面上形成绝缘层。

3.根据权利要求1所述方法,其特征在于,所述绝缘层的制作材料为氧化铝。

4.根据权利要求1所述方法,其特征在于,所述在所述绝缘层表面上形成PbZr0.52Ti0.48O3传感层,包括:

通过超音速等离子喷涂工艺在所述绝缘层表面上形成PbZr0.52Ti0.48O3传感层。

5.根据权利要求1所述方法,其特征在于,还包括:

在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层表面上形成耐磨层。

6.根据权利要求6所述方法,其特征在于,在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层表面上形成耐磨层,包括:

通过超音速等离子喷涂工艺在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层表面上形成耐磨层。

7.根据权利要求1所述方法,其特征在于,还包括:

在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层上表面的表面上形成第一电极,在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层下表面的边缘形成第二电极,所述第一电极和第二电极构成所述PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层的电流导出电极;

烘干。

8.根据权利要求1所述方法,其特征在于,在一基底表面上形成绝缘层之前,还包括:

对所述基底表面进行预处理,得到粗糙的基底表面。

9.一种PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层,其特征在于,包括:

基底,所述基底为任意形状的基底;

绝缘层,所述绝缘层覆盖在所述基底表面上;

PbZr0.52Ti0.48O3传感层,所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层覆盖在所述绝缘层表面上。

10.根据权利要求9所述PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层,其特征在于,还包括:

耐磨层,所述耐磨层覆盖在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层表面上。

11.根据权利要求9所述PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层,其特征在于,还包括:

第一电极,所述第一电极设置在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层上表面的表面上;

第二电极,所述第二电极在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层下表面的边缘。

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