[发明专利]一种PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层的制备方法和PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层有效
申请号: | 201210364873.1 | 申请日: | 2012-09-26 |
公开(公告)号: | CN102839345A | 公开(公告)日: | 2012-12-26 |
发明(设计)人: | 王海斗;邢志国;徐滨士;卢晓亮;李国禄;朱丽娜;马国政 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军装甲兵工程学院 |
主分类号: | C23C4/10 | 分类号: | C23C4/10;H01L41/22 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 100072 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 pbzr sub 0.52 ti 0.48 智能 涂层 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及表面涂层技术领域,更具体地说,涉及一种PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层的制备方法和PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层。
背景技术
现有零件表面在服役时,若其动态损伤无法感知,则无法掌控零件表面的磨损状态。
当前的零件表面疲劳磨损试验多以震动、摩擦系数、温度等因素的变化作为评估零件表面磨损状态的判断依据。当选定判断因素的实际值超过了预设的门槛值,则说明零件表面失效,然后对失效件进行断口分析,通过经验或经典理论反向推断出失效机理。但是这种以“事后判断”为主的失效行为与机理研究,不能判断零件表面的临界失效状态,故无法建立可动态监测并控制零件表面失效的掌控机制。
由于智能传感元件可以实时监控零件表面的磨损状态,因此,在零件表面上设置智能传感单元便成了人们的首选。
当前常用的一种智能传感单元是压电传感器,所述压电传感器是利用压电材料的压电效应制备的。在压电传感器在应用到机械设备的过程中,需要将压电传感器粘贴到设备(或零件)上。
但是,由于一些机械设备的结构复杂或工作环境恶劣,使得所述压电传感器与设备间的结合度差,造成了压电传感器的检测精度差,甚至脱落的问题。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层的制备方法和PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层,该PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层的制备方法能够极大地提高传感器与设备基底间的结合强度,进而避免压电传感器的检测精度差,甚至脱落的问题。。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层的制备方法,包括:
在一基底表面上形成绝缘层;
在所述绝缘层表面上形成PbZr0.52Ti0.48O3传感层;
对所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层进行极化处理,使所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层具有压电效应。
优选的,所述在一基底表面上形成绝缘层,包括:
通过超音速等离子喷涂工艺在所述基底表面上形成绝缘层。
优选的,所述绝缘层的制作材料为氧化铝。
优选的,所述在所述绝缘层表面上形成PbZr0.52Ti0.48O3传感层,包括:
通过超音速等离子喷涂工艺在所述绝缘层表面上形成PbZr0.52Ti0.48O3传感层。
优选的,所述方法还包括:
在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层表面上形成耐磨层。
优选的,在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层表面上形成耐磨层,包括:
通过超音速等离子喷涂工艺在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层表面上形成耐磨层。
优选的,所述方法还包括:
在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层上表面的表面上形成第一电极,在所述PbZr0.52Ti0.48O3传感层下表面的边缘形成第二电极,所述第一电极和第二电极构成所述PbZr0.52Ti0.48O3智能涂层的电流导出电极;
烘干。
优选的,在一基底表面上形成绝缘层之前,还包括:
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