[发明专利]机器人系统

说明书

技术领域

本文所讨论的实施方式涉及机器人系统。

背景技术

常规上，已知有一种机器人系统，该机器人系统通过利用诸如水平多关节机器人的机器人而在半导体制造过程中将诸如晶片的基板搬入/搬出处理设备。

在这样的机器人系统中，随着作为待搬运物体的基板的尺寸的增加和成本的升高，安全且可靠地搬运基板的重要性也已提高。因此，近来，已提出用于安全且可靠地搬运基板的各种技术。

例如，日本专利特开公报2011-159738公开了一种通过为用于放置基板的机器人手设置夹持机构来防止基板在搬运期间发生偏移等的技术。

在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，为了由夹持机构可靠地夹持基板，在机器人从处理设备接收到基板之后机器人被临时停止并且接着操作夹持机构。此外，在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，基于在操作夹持机构之后该夹持机构的操作状态来确认基板的存在与否，并且在确认了基板存在于手上之后，机器人再次操作以退回手。

然而，在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，夹持操作和基板存在与否确认独立于手的退回操作来执行。换言之，在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，在执行夹持操作和基板的存在与否确认时不执行手的退回操作，因此搬运基板所需要的时间会变长。

鉴于以上内容，而形成实施方式的一方面，并且实施方式的一方面的目的在于提供一种能够缩短搬运基板所需要的时间的机器人系统。

发明内容

根据实施方式的一方面的机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手包括夹持薄板状工件的夹持机构，所述臂使所述手移动；以及机器人控制设备，该机器人控制设备控制所述机器人。当所述机器人控制设备通过控制所述机器人使所述机器人在预定的工件搬运位置处搬运所述工件时，所述机器人控制设备在所述手到达所述工件搬运位置之后使所述手退回的同时，通过操作所述夹持机构来执行所述工件的存在与否确认。

根据实施方式的一方面，能够缩短搬运基板所需要的时间。

附图说明

通过参考结合附图考虑的下面详细说明，将容易获得对本发明的更全面认识以及本发明的许多附带优点，这是因为能够更好地理解本发明及其附带优点，在附图中：

图1是示出根据第一实施方式的机器人系统的构造的示意图；

图2是示出机器人的构造的示意图；

图3是手的示意性立体图；

图4A至图4C是晶片检测机构的构造和操作的说明图；

图5是示出机器人控制设备的构造的框图；

图6A是根据第一实施方式的晶片接收操作的说明图；

图6B是根据第一实施方式的晶片输送操作的说明图；

图7是示出晶片接收处理的处理过程的流程图；

图8是示出晶片输送处理的处理过程的流程图；

图9A是根据第二实施方式的晶片接收操作的说明图；

图9B是根据第二实施方式的晶片输送操作的说明图；

图10A是根据第三实施方式的晶片接收操作的说明图；

图10B是根据第三实施方式的晶片输送操作的说明图；

图11A是根据晶片接收操作的另一说明图；以及

图11B是根据晶片输送操作的另一说明图。

具体实施方式

在下文中，将参照附图详细地说明在本申请中公开的机器人系统的实施方式。在以下所示的实施方式中，以其中机器人包括两个手（即，上部手和下部手）的情况作为示例进行说明，然而，机器人可以仅包括一个手。本发明不局限于以下的实施方式。

首先，将参照图1说明根据第一实施方式的机器人系统的构造。图1是示出根据第一实施方式的机器人系统的构造的示意图。

下列说明中，为了阐明位置关系，限定彼此正交的X轴方向、Y轴方向和Z轴方向。此外，在下列说明中，Z轴正向方向为竖直向上，并且X轴方向和Y轴方向为水平方向。

如图1所示，根据第一实施方式的机器人系统1包括基板搬运单元2、基板供给单元3和基板处理单元4。基板搬运单元2包括机器人10和容纳该机器人10的外壳20。

机器人10包括：手11，该手能够保持作为待搬运物体的晶片W；臂12，该臂沿水平方面移动手11；以及基座13，该基座支承臂12以使得所述臂12能够升降并且能沿水平方向枢转。基座13布置在基座安装框架23上，所述基座安装框架形成为外壳20的底壁部。