[发明专利]一种氮化硅陶瓷球轴承滚动体的生产工艺

权利要求书

1.一种氮化硅陶瓷球轴承滚动体的生产工艺，其特征在于：包括下述工艺步骤：

①陶瓷原料制备：将经干燥后的陶瓷原料按比例混合均匀，过筛，将过筛后的粉料置于球磨机中球磨；

其中，所述陶瓷原料，按质量百分比，由下述组分组成：

②压制成形：将步骤①所得粉料置于磨具中，采用冷等静压的方法压制成球形；

③烧结：常压下，将粉料置于模具中，在烧结炉于1600℃~1650℃，保温0.5h~2h，停止加热后随炉冷却至室温；

④研磨抛光：将所得陶瓷球进行研磨和抛光，陶瓷球的球度不超过0.07微米，表面粗糙度不超过0.008微米，按下述方法进行：

I．粗磨：载荷压力5~20N/球；所用粗磨研磨剂中，金刚石颗粒的粒度为20~100μm，所述金刚石颗粒为球形，其圆球度为0.6~0.7；

II．精磨：载荷压力1~5N/球；所述精磨研磨剂中，金刚石颗粒的粒度为1~10μm，所述金刚石颗粒为球形，其圆球度为0.7~0.75；

III．超精磨：0.1~1N/球；所述超精磨研磨剂中，金刚石颗粒的粒度为0.01~1μm，所述金刚石颗粒为球形，其圆球度为0.75~0.85；

所述粗磨研磨剂、精磨研磨剂和超精磨研磨剂与研磨基质的质量比为1∶1~1:4；所述基质为水或煤油。

2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于：所述粗磨研磨剂、精磨研磨剂和超精磨研磨剂，按质量百分比，由下述组分组成：