[发明专利]低漏电流的Bi0.92Tb0.08Fe1‐xCrxO3 薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201210497445.6 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN102976764A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 谈国强;董国华 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C04B35/624 | 分类号： | C04B35/624;C04B35/40 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 蔡和平 |
| 地址： | 710021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 漏电 bi sub 0.92 tb 0.08 fe cr 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种低漏电流的Bi0.92Tb0.08Fe1-xCrxO3薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：将Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O、Tb(NO3)3·6H2O和Cr(NO3)3·9H2O按摩尔比0.97∶1-x∶0.08∶x溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中，形成混合溶液，向混合溶液中加入乙醇胺调节粘度及络合程度，得到稳定的BiFeO3前驱液，其中BiFeO3前驱液中的金属离子浓度为0.3mol/L，x=0.01～0.03，乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的体积比为3.5∶1∶0.2；
步骤2：采用旋涂法和逐层退火的工艺得到Tb和Cr共掺晶态的低漏电流的Bi0.92Tb0.08Fe1-xCrxO3薄膜。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2中重复旋涂和逐层退火步骤直到得到期望厚度的BiFeO3薄膜。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2中逐层退火的退火温度为550℃，时间为5-10min，然后自然冷却至室温。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1中x=0.01～0.02。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，包括以下步骤，
步骤1：将Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O、Tb(NO3)3·6H2O和Cr(NO3)3·9H2O按摩尔比0.97∶0.99∶0.08∶0.01溶于乙二醇甲醚与醋酸酐混合液中，并用乙醇胺调节粘度及络合程度，得到稳定的BiFeO3前驱液，其中，BiFeO3前驱液中的金属离子浓度为0.3mol/L，乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的体积比为3.5∶1∶0.2；
步骤2：采用旋涂法和550℃逐层退火5-10min，然后自然冷却至室温的工艺，得到Tb和Cr共掺晶态的Bi0.92Tb0.08Fe0.99Cr0.01O3薄膜。
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