[发明专利]激光器

权利要求书

1.一种激光器，其包括一全反镜、一输出镜、一放电管和一工作介质，所述全反镜和输出镜分别设置于所述放电管的两端，所述全反镜、输出镜和放电管组成一谐振腔，所述工作介质填充于所述谐振腔内，其特征在于，所述输出镜为一平面输出镜，所述全反镜具有一反射面，所述反射面上设置有微结构，所述微结构包括至少一凸环，所述凸环的高度及宽度均在0.5λ～2λ之间，其中，λ为所述激光器的工作波长。

2.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述凸环的高度及宽度均为0.5λ。

3.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述微结构包括多个同心且间隔设置的凸环。

4.如权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述多个凸环具有相同的高度。

5.如权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述多个凸环具有相同的宽度。

6.如权利要求3所述的激光器，其特征在于，任意两个相邻的所述凸环之间的间距在0.5λ～2λ之间。

7.如权利要求3所述的激光器，其特征在于，任意两个相邻的所述凸环之间的间距均为0.5λ。

8.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述微结构进一步包括一凸台，该凸台与所述至少一凸环同心且间隔设置。

9.如权利要求8所述的激光器，其特征在于，所述凸台位于所述反射面的中心。

10.如权利要求8所述的激光器，其特征在于，所述凸台的高度及直径均在0.5λ～2λ之间。

11.如权利要求8所述的激光器，其特征在于，所述凸台与所述至少一凸环具有相同的高度。

12.如权利要求11所述的激光器，其特征在于，所述凸台与所述至少一凸环的高度均为0.5λ。

13.如权利要求8所述的激光器，其特征在于，所述凸台的直径与所述至少一凸环的宽度相等。

14.如权利要求13所述的激光器，其特征在于，所述凸台的直径与所述至少一凸环的高度均为0.5λ。

15.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述凸环的形状为圆环。

16.如权利要求8所述的激光器，其特征在于，所述凸台的形状为圆柱。

17.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述微结构的材料为金、铂和钯中的一种。

18.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述反射面设置在所述全反镜靠近所述输出镜的表面。

19.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述全反镜包括一本体和位于该本体上的一金属膜。

20.如权利要求19所述的激光器，其特征在于，所述本体的材料为硅、二氧化硅和碳化硅中的一种，所述金属膜的材料为金、铂和钯中的一种。

21.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述工作介质为二氧化碳、氦气、氖气、氮气和一氧化碳中的一种。