[实用新型]一种空间用三结砷化镓太阳电池的下电极去底腐蚀系统

权利要求书

1.一种空间用三结砷化镓太阳电池的下电极去底腐蚀系统，包括旋转涂光刻胶机、干燥机、腐蚀装置、溶剂清洗装置、碱性箱、清洁箱、甩干器，其特征在于：旋转涂光刻胶机、干燥机、腐蚀装置、溶剂清洗装置、碱性箱、清洁箱及甩干器依次相连，所述腐蚀装置包括主腐蚀箱及其洗涤箱、腐蚀箱及其洗涤箱，溶剂清洗装置包括连续二级的丙酮清洗箱以及连续的无水乙醇清洗箱，碱性箱为氢氧化钠清洗箱，清洁箱为去离子水清洁箱。

2.根据权利要求1所述的空间用三结砷化镓太阳电池的下电极去底腐蚀系统，其特征在于：所述甩干器采用氮气吹干方式。