[实用新型]制备热解氮化硼制品用的有多方位进气口的气相沉积炉

权利要求书

1.制备热解氮化硼制品用的有多方位进气口的气相沉积炉，由炉体和炉盖构成，其特征在于，其中炉体底部和炉体侧壁分别设有进气口，所述进气口为由不同原料气体进入的气管内外同心环套而成的套管进气口。

2.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品用的有多方位进气口的气相沉积炉，其特征在于，所述炉体侧壁的进气口的个数为多个。

3.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品用的有多方位进气口的气相沉积炉，其特征在于，所述套管进气口由2-3个气管环套而成，内部的气管的端面和与其相邻的外部的气管的端面不在同一平面，端面之间的垂直距离不大于50mm。

4.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品用的有多方位进气口的气相沉积炉，其特征在于，所述炉体由内至外依次为具有沉积腔的石墨筒、加热器、保温隔热层和具有夹层的外壳，石墨筒上设有石墨盖。

5.根据权利要求4所述的制备热解氮化硼制品用的有多方位进气口的气相沉积炉，其特征在于，所述保温隔热层为碳纤维或陶瓷材料制成。

6.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品用的有多方位进气口的气相沉积炉，其特征在于，所述炉盖由外层的钢质壳体和内层的保温隔热层构成。