[发明专利]光化学反应装置和使用光化学反应装置的同位素浓缩方法

权利要求书

1.一种光化学反应装置，其具有：

透光性反应用容器，通过激光使供给至内部的工艺气体进行光化学反应；

金属镜，以包围所述透光性反应用容器的方式配置在所述透光性反应用容器的外侧，并反射所述激光；和

低温恒温器，其为容纳所述透光性反应用容器、所述金属镜以及极低温液体的结构，通过所述极低温液体，将所述金属镜的温度维持在极低温。

2.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，所述金属镜的温度为100K以下。

3.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，在所述透光性反应用容器和所述金属镜之间具有真空绝热空间。

4.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，构成所述金属镜的金属为金、银、铜和铝中的任意一种。

5.根据权利要求4所述的光化学反应装置，其特征在于，所述金属的纯度为99.9999以上。

6.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，所述金属镜为金属膜。

7.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，所述透光性反应用容器由石英玻璃或丙烯酸树脂构成。

8.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，具有对所述工艺气体照射所述激光的激光波导部件。

9.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，其具有金属容器，所述金属容器由与构成所述金属镜的金属相同的种类且与构成所述金属镜的金属相比纯度低的金属构成，被容纳于所述低温恒温器的同时，容纳所述透光性反应用容器，

以覆盖所述金属容器的内表面的方式配置所述金属镜。

10.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，具有石英玻璃容器，所述石英玻璃容器被容纳于所述低温恒温器且容纳所述透光性反应用容器的同时，透过所述激光，

以覆盖所述石英玻璃容器的内表面或者所述石英玻璃容器的外表面的方式配置所述金属镜。

11.根据权利要求10所述的光化学反应装置，其特征在于，所述石英玻璃容器由纯度99%以上且透光损失0.1dB/m以下的高纯度的石英玻璃构成。

12.根据权利要求8所述的光化学反应装置，其特征在于，将所述激光波导部件配置在所述透光性反应用容器内。

13.根据权利要求8所述的光化学反应装置，其特征在于，在所述透光性反应用容器和所述金属镜之间具有真空绝热空间，将所述激光波导部件配置在所述真空绝热空间。

14.根据权利要求8所述的光化学反应装置，其特征在于，所述激光波导部件为光纤。

15.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，在所述透光性反应用容器的外壁缠绕有加热线。

16.根据权利要求9所述的光化学反应装置，其特征在于，在所述透光性反应用容器和所述金属镜之间，设置有使所述激光透过且包围所述透光性反应用容器的石英玻璃容器，

在所述透光性反应用容器和所述石英玻璃容器之间配置有真空绝热空间。

17.根据权利要求16所述的光化学反应装置，其特征在于，将所述激光波导部件配置在所述石英玻璃容器的外侧。

18.根据权利要求16所述的光化学反应装置，其特征在于，所述石英玻璃容器由纯度99%以上且透光损失0.1dB/m以下的高纯度的石英玻璃构成。

19.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，所述透光性反应用容器由纯度99%以上且透光损失0.1dB/m以下的高纯度的石英玻璃构成。

20.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，所述低温恒温器具有：容纳所述极低温液体的第1容器；容纳所述第1容器的第2容器；和设于所述第1容器和第2容器之间的真空绝热空间。

21.根据权利要求20所述的光化学反应装置，其特征在于，具有再液化装置，所述再液化装置与所述第1容器连接且使由所述极低温液体形成的气体再液化。

22.根据权利要求1所述的光化学反应装置，其特征在于，所述极低温液体为液氦。