[发明专利]显微镜装置有效
申请号: | 201280047584.7 | 申请日: | 2012-09-28 |
公开(公告)号: | CN103890633B | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | R.乌尔;M.施罗普 | 申请(专利权)人: | FEI公司;提尔埃蒂有限责任公司 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00;G01N21/63 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘金凤;徐红燕 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显微镜 装置 | ||
1.一种显微镜装置,该显微镜装置带有物镜(22)、用于在照明束路径(12)上照亮样品(24)的光源(10)、用于在该样品上产生在两个空间方向上被结构化的扁平照明图案(32)的装置(14,18,22,50)、用于在一条图片束路径(34)上对来自该样品的光进行检测的表面检测器(28)、用于在一个位移方向上对该样品上的该照明图案进行移位的装置(16)、以及控制单元(36),该控制单元被制作成用于在该检测器检测到光时拍摄一张图片作为该图案沿着该位移方向(42)在不同位置处的相位图片并且用于从这些相位图片以计算方式对被照亮样品区域的整体图片进行重建,其特征在于,该位移方向向该照明图案(32)的主对称轴(40,40′,40″,140,140′)倾斜并且取决于该照明图案被选择成使得该图片重建所需的相位图片的数量与理论最小要求值相对应。
2.如权利要求1所述的显微镜装置,其中,该照明图案(32)为六边形点图案,并且该位移方向(42)被选择成相对于三个主对称轴(40,40′,40″)其中之一(40)在从1到20度的范围内,并且可以拍摄至少7张相位图片。
3.如权利要求2所述的显微镜装置,其中,该位移方向(42)被选择成相对于这三个主对称轴(40,40′,40″)其中之一(40)在从4到20度、优选地13到20度的范围内。
4.如以上权利要求其中之一所述的显微镜装置,其中,所述用于产生该照明图案的装置(14,18,22)被制作以便利用针对每张相位图片的照明图案(32)同时照亮有待照亮的样品表面的所有区域。
5.如权利要求1至3其中之一所述的显微镜装置,其中,所述用于产生该照明图案(32)的装置(14,18,22,50)被制作以便在针对每张相位图片有待照亮的样品表面的部分区域(132)内按顺序对该照明图案进行组装并再次拆卸,这些部分区域一起覆盖这些有待照亮的样品表面从而使得用该照明图案不是同时而是按顺序部分地照亮有待照亮的该样品表面,该控制单元(36)被制作成用于控制该检测器(28)从而使得基本上仅该检测器区域(137)在那时是活跃的,在该检测器区域上该样品表面的恰被照亮的部分区域被成像。
6.一种显微镜装置,该显微镜装置带有物镜(22)、用于在照明束路径(12)上照亮样品(24)的光源(10)、用于在该样品上产生在至少一个空间方向上被结构化的照明图案(32)的装置(14,18,22,50,114)、用于在一条图片束路径(34)上对来自该样品的光进行检测的表面检测器(36)、用于在一个位移方向上对该样品上的该照明图案进行移位的装置(16)、以及控制单元(36),该控制单元被制作成用于在该检测器检测到光时拍摄一张图片作为该图案沿着该位移方向(42)在不同位置处的相位图片,从这些相位图片以计算方式对被照亮样品区域的整体图片进行重建,所述用于产生该照明图案的装置被制作以便在有待照亮的样品表面的部分区域(132)内按顺序对针对每张相位图片的该照明图案进行组装并再次拆卸,这些部分区域一起覆盖这些有待照亮的样品表面从而使得用该照明图案不是同时而是按顺序部分地照亮这些有待照亮的样品表面,并且该控制单元被制作成用于控制该检测器从而使得基本上仅该检测器区域(137)在那时是活跃的,在该检测器区域上该样品表面的恰被照亮的部分区域被成像。
7.如权利要求6所述的显微镜装置,其中,所述用于产生该照明图案的装置(14,18,22,50,114)被制作成用于组装和拆卸在一个方向上迁移的带(132)的形式的该照明图案(32)。
8.如权利要求7所述的显微镜装置,其中,该带(132)的宽度被选择成使得使用其照亮的样品区域被成像到至少三条检测器线(137)上。
9.如权利要求7和8其中之一所述的显微镜装置,其中,该带(132)仅在纵向方向上被结构化。
10.如权利要求7至9其中之一所述的显微镜装置,其中,该带(132)仅在横向方向上被结构化。
11.如权利要求7至10其中之一所述的显微镜装置,其中,所述用于产生该照明图案的装置(14,18,22,50,114)被制作成用于允许该带(132)仅在与该带垂直的方向上迁移。
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