[发明专利]制造喷嘴的方法

权利要求书

1.一种制造喷嘴的方法，包括以下步骤：

(a)浇注和固化第一材料以在所述第一材料中形成第一微结构化图案，所述第一微结构化图案包括多个离散微结构；

(b)使多个离散微结构变形，得到多个变形的离散微结构；

(c)在与所述第一材料不同的第二材料中复制包括所述多个变形的离散微结构的所述第一微结构化图案，以制备重复结构；

(d)平面化所述重复结构的所述第二材料，以暴露所述第一微结构化图案中的多个微结构中的所述微结构的顶部；以及

(e)去除所述第一材料，得到在所述第二材料中具有多个孔并且对应于所述第一微结构化图案中的多个微结构的喷嘴。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述浇注和固化步骤包括将第一材料浇注于第一铸件中；固化所述第一材料；以及将所述材料从所述第一铸件去除。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一材料包含聚合物。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述聚合物包括硅氧烷、丙烯酸、橡胶或含氟聚合物。

5.根据权利要求1所述的方法，其中在所述第二材料中平面化所述第一微结构化图案的步骤包括去除所述第二材料的一部分。

6.根据权利要求1所述的方法，其中平面化所述第二材料通过研磨方法来实现。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二材料包括电镀材料。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述喷嘴包含金属。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述喷嘴包含Ni。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述喷嘴包含陶瓷。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个离散微结构包括为三维直线主体的离散微结构。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述三维直线主体是细长棱镜结构。

13.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个离散微结构包括为三维直线主体的一部分的离散微结构。

14.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个离散微结构包括为三维曲线主体的离散微结构。

15.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个离散微结构包括为三维曲线主体的一部分的离散微结构。

16.根据权利要求1所述的方法，还包括在于所述第二材料中复制的步骤之前将导电种层施加在所述第一材料上。

17.根据权利要求1所述的方法，还包括使所述多个离散微结构的阵列变形的步骤，得到变形的离散微结构的阵列。

18.根据权利要求1所述的方法，其中变形包括弯曲或扭曲，得到至少一个弯曲或扭曲的离散微结构。

19.根据权利要求1所述的方法，其中通过机械、热或热机械方法发生变形。