[发明专利]原子层沉积方法和装置

权利要求书

1.一种方法，所述方法包括：

运行原子层沉积反应器，所述反应器构造为通过顺序自饱和表面反应来在至少一个衬底上沉积材料；和

在所述反应器中使用干燥空气作为吹扫气体。

2.根据权利要求1所述的方法，所述方法包括：

使用干燥空气作为载气。

3.根据权利要求1或2所述的方法，所述方法包括：

在整个沉积序列过程中使干燥空气流入所述反应器的反应室中。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，所述方法包括：

在所述反应器的反应室的加热中使用干燥空气。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，所述方法包括：

加热吹扫气体进给阀下游的干燥空气。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，所述方法包括：

提供热从所述反应器的出口部向吹扫气体进给管线加热器的反馈连接。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，所述方法包括：

在环境压力下运行所述原子层沉积反应器，以通过顺序自饱和表面反应来在至少一个衬底上沉积材料。

8.根据前述权利要求1-6中任一项所述的方法，所述方法包括：

使用连接到所述反应器的出口部的喷射器，以降低所述反应器中的工作压力。

9.一种装置，所述装置包括：

原子层沉积反应室，其构造为通过顺序自饱和表面反应来在至少一个衬底上沉积材料；和

来自干燥空气源的干燥空气进给管线，以向所述反应器的反应室中进给干燥空气作为吹扫气体。

10.根据权利要求9所述的装置，所述装置包括：

前体进给管线，其来自干燥空气源并经由前体源进入所述反应室中，以携带前体蒸气进入所述反应室中。

11.根据权利要求9或10所述的装置，所述装置包括：

加热器，其构造为加热所述干燥空气。

12.根据权利要求11所述的装置，所述装置包括：

吹扫气体进给阀下游的所述加热器。

13.根据前述权利要求9-12中任一项所述的装置，所述装置包括：

热从所述反应器的出口部向吹扫气体进给管线加热器的反馈连接。

14.根据前述权利要求9-13中任一项所述的装置，其中所述反应器为轻便式反应器，其构造为在环境压力下或接近于环境压力下运行。

15.根据前述权利要求9-14中任一项所述的装置，所述装置包括：

连接到所述反应器的出口部的喷射器，以降低所述反应器中的工作压力。

16.一种生产线，所述生产线包括根据前述权利要求9-15中任一项所述的装置作为所述生产线的一部分。

17.一种装置，所述装置包括：

用于运行原子层沉积反应器的设备，所述原子层沉积反应器构造为通过顺序自饱和表面反应来在至少一个衬底上沉积材料；和

用于在所述反应器中使用干燥空气作为吹扫气体的设备。