[发明专利]一种拉制8英寸重掺砷硅单晶的热系统有效
| 申请号： | 201310058263.3 | 申请日： | 2013-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN103103607A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 陈澄;王林;朱鹏浩;宋都明;李亚哲;刘一波 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉华 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 拉制 英寸 重掺砷硅单晶 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种拉制8英寸重掺砷硅单晶的热系统，包括导流筒、保温盖和上保温筒，所述上保温筒上设有保温盖，所述保温盖的一端连接所述导流筒，其特征在于：所述上保温筒的高度为220mm，所述导流筒的高度为349mm。
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