[发明专利]一种用于键合工艺微缺陷检测的方法

权利要求书

1.一种用于键合工艺微缺陷检测的方法，其特征在于它包含一种图形化软件工艺编程的“四要素法”和一套对键合丝连接性进行判别的图形处理方法。

2.根据权利要求1所述的一种用于键合工艺微缺陷检测的方法，其特征在于所述的“四要素法”包括对器件的中心位置(1)、键合起始点及允许误差(2)、键合终点及允许误差(3)和键合路径(4)。

3.根据权利要求1所述的一种用于键合工艺微缺陷检测的方法，其特征在于所述的对键合丝连接性进行判别的图形处理方法的步骤如下：

(a)、根据“四要素法”编程计算对键合丝图形进行像素扫描分析的区域范围；

(b)、分析键合起点是否超出允差范围；

(c)、分析键合终点是否超出允差范围；

(d)、分析键合丝是否延键合路径方向持续延伸；

(e)、分析键合丝弯曲覆盖范围是否超出允差范围；

(f)、对键合丝是否合格进行标注。