[发明专利]一种三结太阳电池及其制备方法有效
申请号: | 201310166015.0 | 申请日: | 2013-05-08 |
公开(公告)号: | CN103280483A | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 曾徐路;董建荣;李奎龙;孙玉润;于淑珍;赵勇明;赵春雨;杨辉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | H01L31/0687 | 分类号: | H01L31/0687;H01L31/0693;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 宋鹰武 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种三结太阳电池,包括依次连接的P型GaAs衬底、InGaAsN底电池、第一隧道结、GaNAsBi中间电池、第二隧道结、AlGaInP顶电池以及N型GaAs欧姆接触层,其中所述P型GaAs衬底上设有P型电极、所述N型GaAs欧姆接触层上设有N型电极。
2.根据权利要求1所述的三结太阳电池,其特征在于,所述InGaAsN底电池带隙值为0.94±0.03eV,In、N摩尔分数分别为9.3%-11.6%、3.2%-4%。
3.根据权利要求1所述的三结太阳电池,其特征在于,所述GaNAsBi中间电池带隙值为1.39±0.03eV,N、Bi摩尔分数分别为0.03%-0.18%、0.05%-0.3%。
4.根据权利要求1所述的三结太阳电池,其特征在于,所述AlGaInP顶电池带隙值为1.93±0.03eV,Al摩尔分数为0.1%-5%。
5.根据权利要求1所述三结太阳电池,其特征在于,所述InGaAsN底电池包括P型掺杂浓度为3×1017cm-3、厚度为3.0μm的基区以及N型掺杂浓度为2×1018cm-3、厚度为0.2μm的发射区。
6.根据权利要求1所述的三结太阳电池,其特征在于,所述第一隧道结包括N型掺杂浓度为1×1019cm-3、厚度为0.015μm的GaInP、GaAs或InGaAs,以及P型掺杂浓度为1×1019cm-3、厚度为0.015μm的GaAs或AlGaAs。
7.根据权利要求1所述的三结太阳电池,其特征在于,所述GaNAsBi中间电池包括P型掺杂浓度为3×1017cm-3、厚度为3.0μm的基区以及N型掺杂浓度为2×1018cm-3、厚度为0.2μm的发射区。
8.根据权利要求1所述的三结太阳电池,其特征在于,所述第二隧道结包括N型掺杂浓度为1×1019cm-3、厚度为0.015μm的GaInP,以及P型掺杂浓度为1×1019cm-3、厚度为0.015μm的AlGaAs。
9.根据权利要求1所述的三结太阳电池,其特征在于,所述AlGaInP顶电池包括P型掺杂浓度为1×1017cm-3、厚度为0.5μm的基区以及N型掺杂浓度为2×1018cm-3、厚度为0.2μm的发射区。
10.根据权利要求1所述的三结太阳电池,其特征在于,所述N型GaAs欧姆接触层为N型掺杂浓度为6×1018cm-3、厚度为0.5μm的GaAs。
11.根据权利要求5至权利要求10任意一项所述的三结太阳电池,其特征在于,所述N型掺杂原子为Si、Se、S、Sn或Te,P型掺杂原子为Zn、Be、Mg或C。
12.一种三结太阳电池制备方法,包括步骤:
S1,在P型GaAs衬底上生长InGaAsN底电池;
S2,在所述InGaAsN底电池上生长第一隧道结;
S3,在所述第一隧道结上生长GaNAsBi中间电池;
S4,在所述GaNAsBi中间电池上生长第二隧道结;
S5,在所述第二隧道结上生长AlGaInP顶电池;
S6,在所述AlGaInP顶电池上生长N型GaAs欧姆接触层;
S7,在所述P型GaAs衬底上制备P型电极,在所述N型GaAs欧姆接触层上制备N型电极。
13.根据权利要求12所述的三结太阳电池制备方法,其特征在于,步骤S1至步骤S6中采用的生长方法为MOCVD法或MBE法。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的