[发明专利]曝光装置及曝光方法

权利要求书

1.一种曝光装置，其特征在于，包括：

膜片保持部，其用于保持膜片；

掩模，其形成有第1图案以及与所述第1图案分开的第2图案；和

曝光部，其对所述掩模照射光束并由透过所述第1图案或所述第2图的光束将所述膜片曝光，

所述曝光部具有：输出用于照射所述第1图案的第1光束的第1光输出部、以及具有与所述第1光输出部输出的所述第1光束的主光线交叉的主光线并输出用于照射所述第2图案的第2光束的第2光输出部，

所述膜片保持部在比所述第1光束和所述第2光束交叉的位置靠近所述掩模的位置保持所述膜片。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其中，

所述掩模具有形成有第1图案及第2图案这两者的掩模基材。

3.根据权利要求1所述的曝光装置，其中，

还包括用于输送所述膜片的输送部，

所述膜片是长条状，

所述曝光部用于对被输送中的所述膜片进行曝光。

4.根据权利要求3所述的曝光装置，其中，

所述膜片保持部是用于在表面保持所述膜片的辊形状，

所述曝光部对所述膜片的与辊形状的所述膜片保持部紧密接触的区域进行曝光。

5.根据权利要求4所述的曝光装置，其中，

所述膜片保持部伴随着所述膜片的输送而转动。

6.根据权利要求4所述的曝光装置，其中，

所述掩模的靠所述膜片侧的面形成为圆弧状。

7.根据权利要求6所述的曝光装置，其中，

所述掩模的靠所述膜片侧的圆弧状的面的中心位于与辊形状的所述膜片保持部的中心相同的位置。

8.根据权利要求4至7中任何一项所述的曝光装置，其中，

所述掩模的与所述膜片相反的一侧的面形成为圆弧状。

9.根据权利要求8所述的曝光装置，其中，

所述掩模的与所述膜片相反的一侧的圆弧状的面的中心位于与辊形状的所述膜片保持部的中心相同的位置。

10.一种曝光方法，其中，包括：

用于保持膜片的膜片保持阶段；

对形成有第1图案以及与所述第1图案分开的第2图案的掩模照射光束并由经过了所述第1图案或所述第2图案的光束将所述膜片曝光的曝光阶段；

在所述曝光阶段中，输出用于照射所述第1图案的第1光束，并且输出具有与所述第1光束的主光线交叉的主光线并用于照射所述第2图案的第2光束，

在所述膜片保持阶段中，在比所述第1光束和所述第2光束交叉的位置靠近所述掩模的位置配置所述膜片。