[发明专利]一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法

权利要求书

1.一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法，其特征在于：浸液液体传送系统包括作为服务器的控制分系统，作为客户端的水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统；控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统之间构建形成网络拓扑结构，且采用以太网进行数据交换；采用服务器/客户端模式，在控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统之间建立虚拟通讯关系，为每对虚拟通讯关系建立一条虚拟通讯链路，每条虚拟通讯链路维护物理上的一对节点的会话。

2.根据权利要求1所述的一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法，其特征在于：所述的通讯方法的实现是多个系统之间或一个系统的多个模块之间通讯。

3.根据权利要求1所述的一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法，其特征在于：所述的以太网协议采用TCP/IP或UDP/IP协议。

4.根据权利要求1所述的一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法，其特征在于：所述的虚拟通讯关系是通过创建套接字来收发报文以实现数据传输。

5.根据权利要求1所述的一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法，其特征在于：所述的虚拟通讯链路维护物理上的一对节点的会话包括以下步骤：

（1）采用服务器/客户端模式，控制分系统为服务器，水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统为客户端；

（2）服务器创建套接字，并对其初始化；

（3）服务器开始监听客户端的连接请求；

（4）客户端创建套接字，初始化后向服务器请求连接；

（5）服务器接收到客户端的连接请求后，验证其IP地址，若为已知IP地址，则接受请求，若为未知IP地址，则拒绝请求；

（6）当服务器与客户端成功连接后，虚拟通讯链路打开，服务器与客户端实现双向数据收发；

（7）当客户端关机时，需要关闭虚拟通讯链路，客户端向服务器发送断开信号，然后双方关闭套接字，断开虚拟通讯链路，结束通讯。

6.根据权利要求5所述的一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法，其特征在于：所述的虚拟通讯链路不仅能实现报文数据的传输，还能实现文件的传输。

7.根据权利要求5所述的一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法，其特征在于：所述的虚拟通讯链路能在虚拟通讯关系意外断开时进行重新连接，或重新连接失败时进行报警。

8.根据权利要求5所述的一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法，其特征在于：所述的每条虚拟通讯链路都有对报文数据进行算法校验的模块。