[发明专利]多晶硅铸锭的制备方法有效
| 申请号： | 201310352738.X | 申请日： | 2013-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN103436959A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 刘华;张小建;王悦;王丙宽;屈涛 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06;B05D7/24;B05D3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵;李玉秋 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 制备 方法 | ||
1.一种多晶硅铸锭的制备方法，包括以下步骤：
A）将氮化硅水溶液喷涂在热坩埚内壁，再将氮化硅和硅粉的混合水溶液喷涂在热坩埚底部；
B）将所述步骤A）得到的热坩埚进行烘烤，得到装料坩埚；
C）向所述装料坩埚中装入硅料，进行铸锭生产，得到多晶硅铸锭。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，氮化硅和硅粉的混合水溶液中，氮化硅、硅粉与水的比例为1g：（0.5～1.5）g：（2.5～5.5）ml。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述硅粉的纯度为99%以上。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热坩埚的温度为70～100℃。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氮化硅和硅粉的混合水溶液喷涂中，硅粉的质量与喷涂面积的比例为（100～150）g：1m2。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氮化硅水溶液喷涂中，氮化硅的质量与喷涂面积的比例为（150～300）g：1m2。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氮化硅水溶液中氮化硅与水的比例为1g：（2～6）ml。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述烘烤的温度为150～300℃。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述烘烤的时间为1～4小时。
10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷涂为均匀喷涂。
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