[发明专利]液晶排放量测量单元、排放量测量方法以及基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括：

基板支承构件,用于支承基板；

喷嘴单元，包括喷嘴头，在所述喷嘴头设有向所述基板喷射处理液的多个喷嘴；以及

液晶排放量测量单元，具有测量从所述喷嘴排出的所述处理液的排放量的测量构件，

所述液晶排放量测量单元包括：

回收盒，在其内部具有收容排出的处理液的存储空间；

机体，设在所述回收盒的上方，在所述机体的内部形成有多个通道；以及

排放量测量仪，其数量与所述各通道对应，用于测量通过所述各通道的处理液的量，

所述各通道从所述机体上表面延伸至底面形成，所述通道与所述存储空间相通。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，

所述液晶排放量测量单元还包括，对所述存储空间施加真空的真空施加构件。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，

所述排放量测量仪包括：

第一排放量测量仪，位于所述机体内部，向与所述通道垂直的方向延伸，用于测量通过多个所述通道内部的流体；以及

第二排放量测量仪，位于所述第一排放量测量仪下方，并与所述第一排放量测量仪平行，用于测量通过多个所述通道内部的流体。

4.根据权利要求1所述的基板处理装置,

所述通道与所述喷嘴的数量一致。

5.根据权利要求1至4的任一项所述的基板处理装置，

所述液晶排放量测量单元还包括，

移动构件，位于所述基板支承构件的一侧，并且将所述液晶排放量测量单元移动到喷嘴单元。

6.根据权利要求1所述的基板处理装置，

所述液晶排放量测量单元还包括，可连接到所述喷嘴头的连接构件。

7.一种包括测量构件的液晶排放量测量单元，所述测量构件用于测量从喷嘴排出的处理液的排放量，

所述液晶排放量测量单元，包括：

回收盒，在其内部具有收容排出的处理液的存储空间；

机体，设在所述回收盒的上方，在所述机体的内部形成有多个通道；以及

排放量测量仪，其数量与所述各通道对应，用于测量通过所述各通道的处理液的量，

所述各通道从所述机体上表面延伸至底面形成，所述通道与所述存储空间相通。

8.根据权利要求7所述的液晶排放量测量单元，

所述液晶排放量测量单元，还包括：向所述存储空间施加真空的真空施加构件。

9.根据权利要求7所述的液晶排放量测量单元，

所述排放量测量仪，包括：

第一排放量测量仪，位于所述机体内部，向与所述通道垂直的方向延伸，用于测量通过多个所述通道内部的流体；以及

第二排放量测量仪，位于所述第一排放量测量仪下方，并与所述第一排放量测量仪平行，用于测量通过多个所述通道内部的流体。

10.根据权利要求7所述的液晶排放量测量单元，

所述通道与所述喷嘴的数量一致。

11.根据权利要求7至10的任一项所述的液晶排放量测量单元，

所述液晶排放量测量单元，还包括：可连接到所述喷嘴头的连接构件。

12.一种在权利要求1的基板处理装置中测量处理液排放量的方法，包括：

在所述喷嘴处测得的所述处理液进行排出的步骤；

所述处理液进入所述通道的步骤；

测量通过所述通道的所述处理液的步骤；以及

所述处理液回收到所述回收盒的步骤，

测量所述处理液的步骤是：测量通过所述通道的第一领域的两端的时间，从而测得所述处理液的体积。

13.根据权利要求12所述的测量处理液排放量的方法，

所述处理液进入所述通道的步骤是：向所述通道的下方提供一定量的真空压，从而使所述处理液在所述通道中移动。

14.根据权利要求13所述的测量处理液排放量的方法,

测量所述处理液的步骤是：

所述处理液通过多个所述喷嘴分别被排出，从所述各喷嘴排出的各处理液分别通过不同的通道，并测量所述处理液的体积。