[发明专利]气压阀件结构及应用其的充气座以及充气柜

说明书

技术领域

本发明有关于一种阀件的技术领域，具体而言是一种不致产生作用疲乏的气压阀件结构，以能减少阀件损坏的机率，有效延长阀件的使用寿命。

背景技术

按，阀件是一种可选择性开关及调整气体回路的零件，例如进气阀、排气阀、换向阀、单向阀、流量控制阀等等，这些气压零件关系到整个气体回路的顺畅、稳定、使用寿命及气压动作优劣，而前述气压阀件的开关及调整动作主要来自如弹簧之类的弹性件，使其在动作后产生回复预力，但这类弹性件在使用一段时间会因应力而逐渐疲乏，造成其动作不顺畅或不稳定的现象，例如无法完全关闭气体回路、又或无法有效复位，进而缩短其使用寿命。

另，在气压回路中，并会利用电磁阀来进行关闭的动作，然电磁阀与前述阀件弹性件一样，除了有弹性疲乏而损坏的问题外，各该电磁阀也易因磨擦而产生微粒及因电磁作用而发热，造成污染物的产生与吸附，从而破坏气压回路中的洁净度，甚至进一步损坏到气压回路中的零件。

目前，晶圆或光罩于制作、清洗、操作与储存、运输的过程中，不论置于容置晶圆、光罩的载具或无尘室的环境中，均存在有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质会附着于晶圆或光罩表面，且在储存过程中或曝光制程加热后，这些有害物质会在光罩表面产生微粒附着、结晶、又或雾化等现象，以黄光微影制程为例，其会直接影响到光罩的透光率，进而使光罩上的图形失真，其会造成晶圆良率降低的现象，且增加了清理与改善的时间，造成生产量降低，相对上也会提高营运的成本。

为了解决这个问题，而在半导体制程中，通常运用自动化物料搬运系统(Automated Material Handling System，AMHS)、与隔离进出料标准机械接口(Standard Mechanical Interface，SMIF)等设备，来进行光罩于不使用期间的储存与运送，以取代传统人工搬运、降低无尘室设备的建置与维护成本，同时能提升光罩的洁净度，达到超高的生产良率。

而根据半导体厂中AMHS与SMI的技术概念，除了在制程使用时，晶圆或光罩在运送过程或保存期间，都必须放置在一个高洁净度、气密性佳与低气体逸出(Outgassing)的载具内，如晶圆传送盒(FOUP)、晶圆运输盒(FOSB)、光罩传送盒(Reticle SMIF Pod，RSP)等等。而为了提高前述载具的洁净度，通常会在前述密封式载具内充填干净的惰性气体如氮气(N2)，以减少有害气体的为害，然受限于载具气密性不足的问题，通常在一段时间后，即会因漏气而失去效果，故近年来业界进一步开发有注入循环洁净气体的充气座，该充气座并可被设计应用于各种设备上，如制程设备旁的进出料工作站、储存用的收纳柜、充气柜或运输设备等，供对每一个载具进行独立的循环充气。

而现有习知的充气座主要由一板体所构成，板体上分设有对应载具充、排气的充、排气阀件，以提供载具洁净气体。习知载具在充气及储存时，长时间压掣在充、排气阀件上，如此容易造成充气座上的充、排气阀件因疲乏而损坏，甚至因摩擦而造成微粒掉落或因生热而吸附污染物，影响到载具内部的洁净度。

由此可见，在半导体制程中或高洁净的作业环境中，如所使用的气压阀件使用弹性件来进行本身的开关动作，则容易造成污染物的生产与吸附，且长时间使用也会有疲乏损坏的问题，影响到各该气压阀件的有效性及使用寿命，因此如何解决这些问题，是相当重要的课题。

发明内容

因此，本发明的主要目的在提供一种具磁性相斥作用的气压阀件结构，以能利用常态相斥作用来提供闭合预力，而能避免习式因弹性疲乏而失效或损坏的问题，可有效延长气压阀件的使用寿命。

又，本发明的另一主要目的在提供一种可确保气体洁净度的气压阀件结构，其能避免因磨擦产生污染物，也不致因电磁动作而发热吸附污染物，其能有效维持流经气体的洁净度。

为了达到上述目的，本发明提供了一种气压阀件结构，其包含：

一阀体组件，连通于一供气回路，该阀体组件具有相对锁合的一基体及一帽盖，帽盖形成有一连通供气回路的贯孔，且帽盖内底部具有一与贯孔连通的容槽；

一浮动件，滑设于该帽盖的贯孔中，且浮动件顶端穿出帽盖形成一掣动段，又浮动件内形成有一开口向外的气孔，且浮动件中段周缘形成有至少一连通气孔的导孔，供由外部通过作动该浮动件相对帽盖的容槽选择性闭合；

一磁性组件，具有一第一磁性件及与该第一磁性件相斥的一第二磁性件，该第一磁性件设于该基体中，该第二磁性件设于该浮动件的一相对底面；