[发明专利]用于微量气体分析仪的一体化气路结构

权利要求书

1.用于微量气体分析仪的一体化气路结构，用于贯通进气装置、由测试腔外壳形成的测试腔和出气装置，其特征在于：还包括电磁阀容纳腔，所述测试腔出气口、测试腔进气口、电磁阀容纳腔顺序连接且设置于测试腔外壳上。

2.根据权利要求1所述的用于微量气体分析仪的一体化气路结构，其特征在于：还包括电磁阀，所述电磁阀的电磁阀关闭件设置于电磁阀容纳腔内；所述电磁阀容纳腔包括第一电磁阀容纳腔和第二电磁阀容纳腔，第一电磁阀关闭件和第二电磁阀关闭件分别设置于第一电磁阀容纳腔和第二电磁阀容纳腔内。

3.根据权利要求2所述的用于微量气体分析仪的一体化气路结构，其特征在于：所述测试腔内设置有电化学传感器容纳腔，所述测试腔还连接有针型阀、抽气泵、绝压传感器和差压传感器，所述抽气泵、绝压传感器和差压传感器分别与电路板连接。

4.根据权利要求3所述的用于微量气体分析仪的一体化气路结构，其特征在于：所述测试腔外壳下端平行设置有测试腔进气口和测试腔出气口。

5.根据权利要求4所述的用于微量气体分析仪的一体化气路结构，其特征在于：所述测试腔进气口通过第一连接通道连接第一电磁阀容纳腔，第一电磁阀容纳腔通过第三连接通道连接电化学传感器容纳腔；所述电化学传感器容纳腔通过第四连接通道连接第二电磁阀容纳腔，第二电磁阀容纳腔通过第二连接通道连接测试腔出气口。

6.根据权利要求1—5中任意一项所述的用于微量气体分析仪的一体化气路结构，其特征在于：所述测试腔进气口和测试腔出气口之间还设置有减压通道，所述减压通道的直径为0.5～2mm。

7.根据权利要求5所述的用于微量气体分析仪的一体化气路结构，其特征在于：所述针型阀设置于测试腔进气口处。

8.根据权利要求5所述的用于微量气体分析仪的一体化气路结构，其特征在于：所述抽气泵设置于测试腔出气口之后的气路上。

9.根据权利要求7所述的用于微量气体分析仪的一体化气路结构，其特征在于：所述绝压传感器设置于测试腔出气口和抽气泵之间的气路上。

10.根据权利要求7所述的用于微量气体分析仪的一体化气路结构，其特征在于：所述差压传感器设置于测试腔出气口和抽气泵之间的气路上。