[发明专利]一种蒽醌染料体系酸性镀铜的电镀液及电镀方法

权利要求书

1.一种蒽醌染料体系酸性镀铜的电镀液，其特征在于，包括含量为190～220g/L的CuSO₄·5H₂O、含量为50～70g/L的H₂SO₄、含量为0.050～0.080g/L的氯离子、含量为0.10～0.35g/L的蒽醌染料、含量为0.03～0.06g/L的二甲基甲酰胺基磺酸盐、含量为0.05～0.10g/L的聚乙二醇和含量为0.02～0.04g/L的聚乙烯亚胺烷基化合物和含量为0.03～0.05g/L聚乙烯亚胺烷基盐。

2.根据权利要求1所述的电镀液，其特征在于，包括含量为202g/L的CuSO₄·5H₂O、含量为57g/L的H₂SO₄、含量为0.063g/L的氯离子、含量为0.28g/L的蒽醌染料、含量为0.042g/L的二甲基甲酰胺基磺酸盐、含量为0.07g/L的聚乙二醇和含量为0.03g/L的聚乙烯亚胺烷基化合物和含量为0.038g/L聚乙烯亚胺烷基盐。

3.根据权利要求1所述的电镀液，其特征在于，所述蒽醌染料为蒽醌蓝；所述聚乙二醇分子量为2000～8000。

4.一种使用权利要求1所述的电镀液电镀的方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）配制电镀液：在水中溶解各原料组分形成电镀液，所述每升电镀液含有190～220g CuSO₄·5H₂O、50～70g H₂SO₄、0.050～0.080g氯离子、0.10～0.35g蒽醌染料、0.03～0.06g二甲基甲酰胺基磺酸盐、0.05～0.10g聚乙二醇和0.02～0.04g聚乙烯亚胺烷基化合物和0.03～0.05g聚乙烯亚胺烷基盐；

（2）以预处理过的阴极和阳极置入所述电镀液中通入电流进行电镀。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述电流为单脉冲方波电流；所述单脉冲方波电流的脉宽为0.3～0.8ms，占空比为5～30%，平均电流密度为1.5～4A/dm²。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，电镀液的温度为15～40℃。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，电镀的时间为20～60min。

8.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述阳极的材料为含有0.35～0.05wt%磷元素的铜。

9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述步骤（2）中电镀在空气搅拌下进行，所述空气搅拌的气体流量密度为12～15m³/(h.m²)。

10.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述步骤（2）中阴极与阳极的面积比为(1/3～1)：2。