[发明专利]一种真空沉积系统及其旋转馈入装置

权利要求书

1.一种旋转馈入装置，其特征在于，包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；

所述第一固定组件包括第一固定座，所述第一固定座上设有轴孔；

所述第一动密封组件安装于所述轴孔中，用于所述传动轴与所述第一固定座之间的密封；

所述传动轴绕自身轴向转动穿设所述第一动密封组件；

所述第一直驱马达安装于所述第一固定组件，所述第一直驱马达的输出端连接于所述传动轴，以驱动所述传动轴转动。

2.根据权利要求1所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第一固定座为一端闭合的筒状，所述轴孔开设在第一固定座的闭合端；所述第一固定座上相对闭合端的另一端密封设置以形成一密闭腔体，所述第一直驱马达的输出端位于该密闭腔体中。

3.根据权利要求2所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第一固定组件还包括第一支撑套筒及第一端盖，所述第一固定座上相对闭合端的另一端与所述第一支撑套筒的一端固定连接，所述第一支撑套筒的另一端与所述第一端盖固定连接；所述第一直驱马达位于所述第一支撑套筒中。

4.根据权利要求1所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第一动密封组件包括套筒、磁流体密封件及密封圈，所述套筒固定于所述轴孔中，所述密封圈设置在所述套筒与所述第一固定组件之间，所述传动轴绕自身轴向转动套设在所述套筒内，所述磁流体设置在所述套筒的内壁与所述传动轴之间。

5.根据权利要求1至4任一项所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述旋转馈入装置还包括第二固定组件及第二直驱马达；

所述第一固定组件转动连接于第二固定组件；

所述第二直驱马达固定于第二固定组件，其输出端连接于所述第一固定组件或所述第一直驱马达，以驱动所述第一固定组件转动。

6.根据权利要求5所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第二固定组件包括第二固定座，所述第二固定座为环状，所述第一固定座转动套设在所述第二固定座内；所述第一固定座与所述第二固定座之间设有第二动密封组件，所述第二动密封组件包括两个同轴设置的两个动密封圈及真空管道，所述第一固定座、所述第二固定座与两个所述动密封圈之间形成环状的密封空间，所述真空管道设置在所述第二固定座上，所述真空管道的一端连通至所述密封空间、另一端连通至一真空抽气装置。

7.根据权利要求5所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述传动轴、所述第一直驱马达及所述第二直驱马达同轴设置。

8.一种真空沉积系统，其特征在于，包括权利要求1至3任一项所述的旋转馈入装置及真空腔室，所述真空腔室的腔壁上设有安装孔，所述旋转馈入装置安装于所述安装孔处；

所述旋转馈入装置的第一固定组件安装于所述安装孔，所述旋转馈入装置的第一直驱马达位于所述真空腔室外、传动轴上远离所述第一直驱马达的一端位于所述真空腔室中。

9.根据权利要求8所述的真空沉积系统，其特征在于，所述旋转馈入装置还包括第二固定组件及第二直驱马达；

所述第二固定组件密封固定于所述安装孔，所述第一固定组件转动连接于所述第二固定组件；

所述第二直驱马达固定于第二固定组件，其输出端连接于所述第一固定组件或所述第一直驱马达，以驱动所述第一固定组件转动。

10.根据权利要求9所述的真空沉积系统，其特征在于，所述真空沉积系统还包括设置在所述真空腔室中的传输装置；所述传输装置包括叉手及旋转台；所述叉手通过直线导向组件直线滑动连接于所述旋转台；所述叉手与所述传动轴之间设有传动组件，用于将所述传动轴的转动转化为所述叉手的直线移动；

所述旋转台转动设置于所述真空腔室的内壁，所述旋转台固定连接于所述第一固定组件。