[发明专利]一种真空紫外激光发生装置

权利要求书

1.一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，包括：入射窗口（1）、非线性作用主体（2）、偏转电极（4）以及出射窗口（3）；其中，入射窗口（1）、非线性作用主体（2）和出射窗口（3）依次平行并且同轴的组装在一起，通过O圈密封；偏转电极（4）安装在非线性主体（2）内部，并且与非线性主体（2）同轴；

所述入射窗口（1）用于通过处于可见波段的激光；

所述非线性作用主体（2）为真空紫外激光产生的区域；

所述出射窗口（3）用于通过产生的真空紫外激光；

所述偏转电极（4）用于清理非线性作用主体（2）产生真空紫外激光过程中离化的气体介质。

2.根据权利要求1所述的一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，所述入射窗口（1）为圆柱形透明玻璃或石英介质。

3.根据权利要求2所述的一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，所述入射窗口（1）直径5至35毫米，厚度为0.5至5毫米。

4.根据权利要求1所述的一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，所述非线性作用主体（2）包括：

入射通路（2a），用于光路传输和固定入射窗口（1）；

真空紫外激光产生区域（2b），侧壁安装有气路管道（2b-2）和真空电极柱（2b-1）；所述气路管道内部用于充入气体介质；所述真空电极柱用于向所述偏转电极（4）施加电压，并且使非线性作用主体（2）与外界保持密封；

固定法兰（2c），一侧用于固定偏转电极（4），另外一侧用于固定并且密封所述出射窗口（3）。

5.根据权利要求4所述的一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，所述入射通路（2a）的内径为5至35毫米，长度为50至300毫米。

6.根据权利要求4所述的一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，所述真空紫外激光产生区域（2b）的内径为30至60毫米，长度为50至150毫米。

7.根据权利要求4所述的一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，所述气路管道（2b-2）所填充的气体介质为氙气或者氙气和氩气的混合气体，气体的压强为0.01兆帕至0.1兆帕；若气体介质为氙气和氩气的混合气体，则该混合气体中氙气和氩气的压强之比为0.05至0.5。

8.根据权利要求1所述的一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，所述出射窗口（3）为一用来透射真空紫外激光的透镜，该透镜的材料为氟化钙，直径为5至35毫米，焦距为30至300毫米。

9.根据权利要求1所述的一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，所述偏转电极（4）为一对长10至50毫米，宽5至25毫米，厚0.5至3毫米的电极片；两个电极片彼此平行的固定在所述非线性作用主体（2）内，并且与所述非线性作用主体（2）绝缘。

10.根据权利要求9所述的一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，所述两个电极片的间距为3至20毫米，电势差为100至2000伏特。