[发明专利]一种具有复合吸气剂层的MEMS组件及其制备方法无效
| 申请号： | 201310751893.9 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104743502A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 朱君;张心强;李洋;徐瑶华 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘茵 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 复合 吸气 mems 组件 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有复合吸气剂层的MEMS组件的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
A.将非蒸散型吸气材料粉末、有机粘结剂和稀土氧化物三种组分混合均匀；三种组分的配比为40～60wt％：30～55wt％：5～10wt％：
B.使用40～300目的筛网在MEMS器件的盖板材料或管壳材料上丝印厚度为10～400微米的复合吸气剂层；
C.将步骤B制备的MEMS器件在350～400℃真空烧制，制备出具有复合吸气剂层的MEMS组件。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述非蒸散型吸气材料粉末为锆钒铁吸气剂。
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述有机粘结剂为乙基纤维素、硅烷偶联剂和松油醇的混合液，三者的配比为5～15wt％∶5～15wt％∶70～90wt％。
4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述稀土氧化物为氧化铈、氧化铌、氧化铪或氧化镧。
5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述筛网为工业级标准的聚酯筛网。
6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述MEMS器件的盖板材料或管壳材料为可伐合金、陶瓷或锗片。
7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤C的烧制时间为1～2小时。
8.一种具有复合吸气剂层的MEMS组件，其特征在于，其是采用如权利要求1-7中任一项所述的方法制备的。
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