[实用新型]向真空室内同轴引入动力和冷却水的转轴装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种向真空室内同轴引入动力和冷却水的转轴装置，属于真空应用设备领域。

背景技术

真空设备是产生、改善和/或维持真空的装置，其包括真空应用设备。安装在真空设备上的用于向真空室内引入旋转动力的转轴作为真空应用设备的一种，要求在向真空室内的转动部件引入旋转动力的同时，要保持真空室良好的密封性。

但在某些特殊工艺要求下，真空室内部的某些部件需要在加热状态下工作，该部件自身将产生热量，由于真空室本身就具有良好的隔热效果，因此，产生的热量将在真空室内聚集，并导致真空室内温度过高，从而高于真空室内各部件稳定运行的适当温度范围，将直接影响真空室内各部件运行的稳定性。

而现有的伸入真空室内的转轴仅能够向真空室引入旋转动力，而无法同时对真空室内部的生热部件（通常为转动部件）进行相应的冷却降温。因此，针对上述问题，需要采取相应的措施对真空室内的生热部件进行相应的降温。

实用新型内容

本实用新型所要解决的问题是现有的真空室内的生热部件无法冷却的技术问题，从而提供一种能够向真空室引入旋转动力并保持真空室良好密封的同时，对真空室内的生热部件冷却降温的向真空室内同轴引入动力和冷却水的转轴装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种向真空室内同轴引入动力和冷却水的转轴装置，包括转轴，所述转轴上沿轴向方向设置有可对真空室进行密封的动密封装置以及可带动所述转轴转动的驱动装置，所述转轴靠近所述驱动装置的一端连接有旋转水套，所述转轴中形成有沿轴向方向延伸的进水通道和出水通道，；所述进水通道和所述出水通道的一端分别与所述旋转水套的进水口和出水口相通，另一端可分别与真空室内的生热部件的冷却水腔室相通。

所述转轴为空心轴，所述空心轴内设置有水管，所述水管的外壁与所述空心轴的内壁之间形成所述进水通道，所述水管构成所述出水通道。

所述旋转水套与所述转轴之间密封形成有与所述进水口相通的环形水腔，所述环形水腔通过形成在所述转轴上的孔与所述进水通道连通。

所述孔的数量为两个以上。

所述动密封装置包括套设在所述转轴上的转轴法兰座，所述转轴法兰座与所述转轴之间设置有用于支撑所述转轴转动的轴承、对所述轴承进行限位的轴套以及与所述转轴的外表面转动接触以进行密封的动密封圈，所述转轴法兰座的两端分别由上盖和下盖盖合。

所述动密封装置包括套设在所述转轴上的转轴法兰座，所述转轴法兰座与所述转轴之间形成有磁流体腔室，所述磁流体腔室充满有用于密封的磁流体，所述转轴法兰座上具有与所述磁流体腔室连通的冷却液入口和冷却液出口。

所述转轴法兰座与真空室的真空腔室法兰接触的面上形成有凹槽，所述凹槽中设置有法兰密封圈，以在所述转轴装置安装在真空室上时，所述转轴法兰座、真空腔室法兰以及所述法兰密封圈构成所述转轴装置的静密封结构。

所述驱动装置为驱动轮，所述驱动轮通过平键安装在所述转轴上。

本实用新型的上述技术方案与现有技术相比，具有以下优点：

（1）本实用新型的向真空室内同轴引入动力和冷却水的转轴装置中，其转轴中形成有沿轴向方向延伸的进水通道和出水通道，转轴靠近驱动装置的一端连接有旋转水套；进水通道和出水通道的一端分别与旋转水套的进水口和出水口相通，另一端可分别与真空室内的生热部件中的冷却水腔室相通，该转轴装置密封安装在真空室上后，转轴装置未连接有旋转水套的一端将伸入真空室内，使进水通道和出水通道分别与真空室内的生热部件中的冷却水腔室相通，从而使外界冷却水从旋转水套的进水口进入，通过转轴的进水通道流入真空室内的生热部件中的冷却水腔室对该生热部件进行降温，然后从出水通道流出，形成冷却水循环回路，从而在向真空室引入旋转动力并保持真空室良好密封的同时，可实现对真空室内的生热部件的冷却降温，满足特殊工艺的要求。

（2）本实用新型的向真空室内同轴引入动力和冷却水的转轴装置中，其转轴为空心轴，而该转轴中的进水通道和出水通道可直接通过在所述空心轴内部设置水管来形成，因此，加工制作方便，结构简单。

（3）本实用新型的向真空室内同轴引入动力和冷却水的转轴装置中，其转轴上用于将旋转水套的进水口和转轴的进水通道连通的孔的数量为两个以上，可使冷却水快速地流入进水通道，对真空室内的某些生热部件进行快速冷却降温。