[实用新型]蒸发镀膜机用的离子轰击组件有效
| 申请号： | 201320142571.X | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203212628U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 离子 轰击 组件 | ||
【权利要求书】：
1.蒸发镀膜机用的离子轰击组件，其特征在于，包括防护套、绝缘座和防护罩，绝缘座套于电极输入棒外周，防护套设于绝缘座上部的外周，防护罩设于电极输入棒底部并套于绝缘座外周。
2.根据权利要求1所述蒸发镀膜机用的离子轰击组件，其特征在于，所述电极输入棒穿过蒸发镀膜机的容器底板，绝缘座外周通过轰击座与容器底板相接，轰击座和绝缘座通过螺母锁紧于容器底板上。
3.根据权利要求2所述蒸发镀膜机用的离子轰击组件，其特征在于，所述防护套位于容器底板上方，即防护套位于蒸发镀膜机的容器内部；防护罩位于容器底板下方，即防护罩位于蒸发镀膜机的容器外部。
4.根据权利要求1所述蒸发镀膜机用的离子轰击组件，其特征在于，所述防护套为单层的管状结构。
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