[实用新型]蒸发镀膜机用的离子轰击组件有效

专利信息
申请号: 201320142571.X 申请日: 2013-03-26
公开(公告)号: CN203212628U 公开(公告)日: 2013-09-25
发明(设计)人: 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 申请(专利权)人: 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 裘晖
地址: 526060 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 蒸发 镀膜 离子 轰击 组件
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及蒸发镀膜机技术领域,特别涉及一种蒸发镀膜机用的离子轰击组件。

背景技术

蒸发镀膜机是玻璃镀膜生产线的常用设备,其离子轰击组件使用时,电极输入棒周围一般设有多层防护套,多层防护套主要起到绝缘作用,防止电极输入棒对蒸发镀膜机的其它组件产生导电。然而,现有的蒸发镀膜机中,离子轰击组件的结构相当复杂,组装繁琐,其制造成本也高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种结构简单、使用方便、性能稳定的蒸发镀膜机用的离子轰击组件。

本实用新型的技术方案为:一种蒸发镀膜机用的离子轰击组件,包括防护套、绝缘座和防护罩,绝缘座套于电极输入棒外周,防护套设于绝缘座上部的外周,防护罩设于电极输入棒底部并套于绝缘座外周。

所述电极输入棒穿过蒸发镀膜机的容器底板,绝缘座外周通过轰击座与容器底板相接,轰击座和绝缘座通过螺母锁紧于容器底板上。

所述防护套位于容器底板上方,即防护套位于蒸发镀膜机的容器内部;防护罩位于容器底板下方,即防护罩位于蒸发镀膜机的容器外部。

所述防护套为单层的管状结构。

本蒸发镀膜机用的离子轰击组件使用时,先将绝缘座套于电极输入棒中部外周,再将电极输入棒及绝缘座穿过蒸发镀膜机的容器底板,绝缘座与容器底板的相接处设置轰击座,并通过螺母将轰击座和绝缘座锁紧固定于容器底板上;最后,在位于容器内部绝缘座外周套上防护套,在位于容器外部的绝缘座外周套上防护罩,防护罩为中空的圆筒结构,安装后电极输入棒的末端位于防护罩中部的圆筒内。

本实用新型相对于现有技术,具有以下有益效果:

本蒸发镀膜机用的离子轰击组件是在传统离子轰击组件的基础上进行改进,对其结构进行简化,使其制造简单,安装方便,制造成本也较低。用金属螺母将塑料材质的绝缘座压紧,防止压不紧而漏气,确保工作过程中绝缘座受热有点变形也不会导致漏气。绝缘座与电极输入棒在真空室内螺母锁紧位置有透气槽,防止抽真空过程中两零件的间隙内有空气导致打火,影响性能。

附图说明

图1为本蒸发镀膜机用的离子轰击组件的结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图,对本实用新型作进一步的详细说明,但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例

本实施例一种蒸发镀膜机用的离子轰击组件,如图1所示,包括防护套1、绝缘座2和防护罩3,绝缘座2套于电极输入棒4外周,防护套设于绝缘座上部的外周,防护罩设于电极输入棒底部并套于绝缘座外周。

其中,电极输入棒4穿过蒸发镀膜机的容器底板5,绝缘座2外周通过轰击座6与容器底板5相接,轰击座6和绝缘座2通过螺母7锁紧于容器底板5上。

防护套位于容器底板上方,即防护套位于蒸发镀膜机的容器内部;防护罩位于容器底板下方,即防护罩位于蒸发镀膜机的容器外部。

防护套为单层的管状结构。

本蒸发镀膜机用的离子轰击组件使用时,先将绝缘座套于电极输入棒中部外周,再将电极输入棒及绝缘座穿过蒸发镀膜机的容器底板,绝缘座与容器底板的相接处设置轰击座,并通过螺母将轰击座和绝缘座锁紧固定于容器底板上;最后,在位于容器内部绝缘座外周套上防护套,在位于容器外部的绝缘座外周套上防护罩,防护罩为中空的圆筒结构,安装后电极输入棒的末端位于防护罩中部的圆筒内。

如上所述,便可较好地实现本实用新型,上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例,并非用来限定本实用新型的实施范围;即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰,都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。

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