[实用新型]一种三轴数字指南针

权利要求书

1.一种三轴数字指南针，其特征在于：它包括

通量集中器，其用于对外磁场产生扭曲以使在Z轴的分量转变为X轴、Y轴磁场分量；

两个X轴磁敏传感器，所述的X轴磁敏传感器分别位于所述的通量集中器沿X轴方向的两侧边缘，每个X轴磁敏传感器的敏感轴方向平行于X轴；

两个Y轴磁敏传感器，所述的Y轴磁敏传感器分别位于所述的通量集中器沿Y轴方向的两侧边缘，每个Y轴磁敏传感器的敏感轴方向平行于Y轴；

信号采样单元，其与各个磁敏传感器的输出端相电连，用于对各个磁敏传感器输出的信号进行采样；

信号处理单元，其与信号采样单元的输出端相电连，所述信号处理单元对采样信号进行计算，计算出对应于X轴、Y轴和Z轴的磁场分量的数字信号；

信号输出单元，其将所述信号处理单元计算分离出来的数字信号输出。

2.根据权利要求1所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述各X轴磁敏传感器、Y轴磁敏传感器沉积在基片表面并感应基片表面内的磁场分量。

3.根据权利要求1所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述各X轴磁敏传感器、Y轴磁敏传感器为AMR、GMR或TMR磁阻传感器之中的一种。

4.根据权利要求1所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述各X轴磁敏传感器、Y轴磁敏传感器为自旋阀，并且所述X轴磁敏传感器中元件的钉扎层的磁化方向与Y轴磁敏传感器中元件的钉扎层的磁化方向相互正交。

5.根据权利要求1所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述X轴磁敏传感器、Y轴磁敏传感器各自至少包括一个感应元件和一个参考元件，所述参考元件位于所述通量集中器的下方，所述感应元件沿所述通量集中器边缘排列。

6.根据权利要求1所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述的X轴的磁场分量对应两个X轴磁敏传感器输出信号之和、所述的Y轴的磁场分量对应两个Y轴磁敏传感器输出信号之和。

7.根据权利要求1所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述的Z轴的磁场分量对应所述两个X轴磁敏传感器输出信号的差值，或者对应所述两个Y轴磁敏传感器输出信号的差值，或者对应所述两个X轴磁敏传感器输出信号的差值与所述两个Y轴磁敏传感器输出信号的差值之和。

8.根据权利要求1所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述通量集中器的组成材料为高导磁率软磁金属材料NiFe、CoFeSiB、CoZrNb、CoFeB、FeSiB或FeSiBNbCu中的一种。

9.根据权利要求1所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述通量集中器的厚度为1-20 um。

10.根据权利要求1所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述基片采用CMOS，将所述X轴磁敏传感器、Y轴磁敏传感器印制在所述基片上面。

11.根据权利要求10所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述的X轴的磁场分量对应两个X轴磁敏传感器输出信号之和、所述的Y轴的磁场分量对应两个Y轴磁敏传感器输出信号之和。

12.根据权利要求10所述的一种三轴数字指南针，其特征在于，所述的Z轴的磁场分量对应所述两个X轴磁敏传感器输出信号的差值，或者对应所述两个Y轴磁敏传感器输出信号的差值，或者对应所述两个X轴磁敏传感器输出信号的差值与所述两个Y轴磁敏传感器输出信号的差值之和。