[实用新型]一种提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的装置有效
| 申请号： | 201320306840.1 | 申请日： | 2013-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN203326917U | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 孙强;孙天乐;陈桂涛;黄西平 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H02M9/02 | 分类号： | H02M9/02 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 磁控溅射 脉冲 电源 输出 频率 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的装置，其特征在于，包括依次连接的直流电流源模块（1）、高频脉冲发生模块（2）及磁控溅射装置（3），直流电流源模块（1）、高频脉冲发生模块（2）还分别与控制模块（4）连接。
2.根据权利要求1所述的提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的装置，其特征在于，所述的高频脉冲发生模块（2）的结构为：包括相串联的开关管Q1-1和开关管Q1-2，相串联的开关管Q2-1和开关管Q2-2，相串联的开关管Q1-3和开关管Q1-4，相串联的开关管Q2-3和开关管Q2-4，以上四条串联电路并联连接，开关管Q1-1、开关管Q2-1、开关管Q1-3和开关管Q2-3的输入端与直流电流源模块（1）的电感L连接，开关管Q1-2、开关管Q2-2、开关管Q1-4和开关管Q2-4的输出端与直流电流源模块（1）另外一端连接。
3.根据权利要求1所述的提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的装置，其特征在于，所述的控制模块（4）的结构为：包括依次连接的数据采集模块、FPGA芯片及驱动电路，FPGA芯片与直流电流源模块（1）连接，驱动电路与高频脉冲发生模块（2）连接。
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