[实用新型]一种厚度测量装置有效
申请号: | 201320609242.1 | 申请日: | 2013-09-29 |
公开(公告)号: | CN203550904U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 白建民;王建国;黎伟 | 申请(专利权)人: | 无锡乐尔科技有限公司 |
主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 邵骅 |
地址: | 214028 江苏省无锡市新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 厚度 测量 装置 | ||
1.一种厚度测量装置,其特征在于:包括一个传感单元、一个磁体、一个连杆以及一个表面接触单元;
所述传感单元位于磁体的正上方或其正上方的一侧,包括感应部分和相应的电路,用于测量其磁敏感方向上磁体磁场的分量;
所述磁体的顶端中心附近的场强分布均匀且在其相对传感单元的位移范围内对传感单元施加的场强不会使传感单元达到饱和;
所述连杆连接磁体以及表面接触单元;
所述表面接触单元与待测物表面相接触,用于将待测物表面的厚度变化通过连杆转变成磁体的位移。
2.如权利要求1所述的厚度测量装置,其特征在于:所述表面接触单元包括且不仅包括针形、球体或滑轮形状的非磁性耐磨材料。
3.如权利要求2所述的厚度测量装置,其特征在于:所述球体或滑轮型表面接触单元的半径大于待测物的厚度。
4.如权利要求1所述的厚度测量装置,其特征在于:所述磁体包括且不仅包括长形柱体或长形长方体的硬磁铁氧体材料,或片状柱体或片状长方体的硬磁金属材料。
5.如权利要求1所述的厚度测量装置,其特征在于:所述磁体的形状包括且不仅包括空心柱体、空心立方体或凹槽形的中心凹陷的形状。
6.如权利要求1所述的厚度测量装置,其特征在于:所述传感单元包括且不仅包括霍尔元件、各向异性磁电阻元件、巨磁电阻元件或磁性隧道结元件。
7.如权利要求1所述的厚度测量装置,其特征在于:所述传感单元的感应部分为一个或多个磁电阻构成的单电阻、半桥或全桥结构,所述磁电阻由一个或多个磁性传感元件并联或串联组成。
8.如权利要求7所述的厚度测量装置,其特征在于:所述磁性传感元件组成的全桥为梯度全桥。
9.如权利要求1所述的厚度测量装置,其特征在于:所述传感单元和所述磁体的位置对调。
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