[实用新型]一种酸浸装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种酸浸装置。

背景技术

决定半导体用石英玻璃管质量的一个重要因素就是其表面的洁净度，因半导体用材料的纯度都是以PPM级量化，所以对其表面要求同样很高。又因半导体用石英玻璃管材经酸浸工序处理，所以对酸浸半导体用石英玻璃管材的酸液杂质含量要求也很高。现有石英管酸浸都在简易酸槽内进行，而该酸槽无过滤功能，酸液与石英玻璃表面反应产生一些杂质如漂浮物、金属元素以及氟硅酸等，当这些杂质积累到一定量时对石英玻璃管材的表面产生污染，为了保证半导体石英玻璃管的质量，需要对酸液进行频繁更换，而酸液频繁更换又增加了生产成本。

对于半导体用石英管材表面的刻蚀量工艺上要求是一个固定值，影响石英玻璃管材表面刻蚀量的因素主要包括酸浸时间、酸液浓度和酸液温度。对于酸浸时间以及酸液浓度这两个因素在生产过程中是可控的，而使用没加热设备的简易酸槽，其酸液温度是不可控的，酸液温度会因环境温度变化而变化。为了满足石英管材表面刻蚀量定值要求，当酸液温度降低时必须延长石英管材酸浸时间，而延长酸浸时间就大大降低生产效率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种酸浸装置，适用于半导体石英玻璃管。

本实用新型提供一种酸浸装置，包括酸槽、酸过滤系统和酸加热系统，所述酸过滤系统、酸加热系统均与酸槽连通。

进一步地，所述酸过滤系统包括酸泵和酸过滤器，所述酸泵的一端连接酸槽的底部，另一端连接酸过滤器的进口，所述酸过滤器的出口连接酸槽的顶部。

进一步地，所述酸泵与酸槽之间、酸泵与酸过滤器之间、酸过滤器与酸槽之间均通过酸管道连通。

进一步地，所述酸加热系统包括加热器和换热器；所述加热器连接换热器，所述换热器置于所述酸槽中。

进一步地，所述加热器通过循环水管道连接换热器。

进一步地，所述酸加热系统还包括测温仪，所述测温仪设置于酸槽中。

进一步地，所述加热器内具有温控系统，所述测温仪连接所述温控系统。

进一步地，所述换热器采用材质为聚四氟乙烯的换热片。

本实用新型具有的优点在于：

本实用新型提供一种酸浸装置，作为一种新型的适用于半导体石英管的过滤恒温酸浸装置，一方面，通过酸过滤系统对酸液经高效过滤器强制过滤，有效去除酸液内漂浮物，降低了酸液中氟硅酸含量并使其保持在一个稳定值，减缓了酸液中金属元素增长的速度，从而延长了酸液使用的周期，降低了生产成本。另一方面，通过酸加热系统对酸液持续加热，通过温控系统即测温仪对酸液温度控制，从而实现了酸液恒温控制工艺要求，提高了生产效率。

附图说明

图1是本实用新型提供的酸浸装置的结构示意图。

图中：1-酸槽；2-酸泵；3-酸过滤器；4-加热器；5-换热器；6-酸管道；7-测温仪；8-石英管支架；9-半导体石英管；10-循环水管道。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

本实用新型提供一种酸浸装置，如图1所示，包括酸槽1、酸过滤系统和酸加热系统。将待酸浸的半导体石英管9设置于酸槽1中，并通过石英管支架8承载半导体石英管9。

所述酸过滤系统包括酸泵2、酸过滤器3和酸管道。利用所述酸液过滤进行酸液过滤的过程如下：首先所述酸槽1中的酸液经酸管道6进入所述酸泵2中，并通过酸泵2打入酸过滤器2中，酸液经所述酸过滤器2过滤后再通过酸管道6返回酸槽1，这样实现酸液循环过滤。所述酸过滤器2一般由滤袋和滤芯组成，通过选择不同孔径滤芯来实现过滤酸液中不同粒径杂质。