[发明专利]光学装置、光学测试台及光学测试方法

权利要求书

1.一种光学系统，其特征在于，所述光学系统包括：

-称为准直光波(OL_col)的平面光波的生成装置(106)，

-准直光波偏置装置(114)，用于提供称为测试光波(OL_test)的光波，所述偏置装置(114)呈现出可调节的焦距，和

-镜(116)，被配置于待测试的单元(104)的一侧，以接收一部分准直光波(OL_col)，而不掩蔽待测试的单元(104)，

其中所述准直光波(OL_col)的生成装置(106)包括部分透明且呈现一定图案的屏幕(110)，所述屏幕(110)被安置穿过源光波(OL_source)以遮掩一部分源光波和使称为测试图光波的另一部分源光波通过。

2.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述偏置装置(114)的焦距是可调节的。

3.根据权利要求2所述的光学系统，其中所述偏置装置(114)的焦距可调节到无穷大。

4.根据权利要求2所述的光学系统，其中所述焦距在从无穷大延伸到预定值的区间中是可调节的。

5.根据权利要求4所述的光学系统，其中所述预定值是负的。

6.根据权利要求4所述的光学系统，其中所述预定值是正的。

7.根据权利要求1到6中任一项所述的光学系统，其中所述偏置装置包括：

-第一光学透镜(202)，用于接收准直光波(OL_col)且将其偏置，以提供被称为中间光波(OL_int)的光波；

-第二光学透镜(204)，用于接收所述中间光波(OL_int)且将其偏置，以提供测试光波(OL_test)；

-支撑两个所述光学透镜(202，204)的间隔装置(206)，用于使得能够调节两个所述光学透镜(202，204)之间的间隔(e)，所述偏置装置(114)的焦距取决于该间隔(e)；

以及其中两个所述光学透镜(202，204)呈现有相反的焦距。

8.根据权利要求7所述的光学系统，其中所述第一光学透镜(202)是发散的和所述第二光学透镜(204)是会聚的。

9.根据权利要求7所述的光学系统，其中两个所述光学透镜(202，204)的焦距的绝对值之比不等于1。

10.根据权利要求7所述的光学系统，两个所述光学透镜的材料相同。

11.根据权利要求9所述的光学系统，所述第一光学透镜(202)的焦距的绝对值与所述第二光学透镜(204)的焦距的绝对值之比包含在0.992和0.995之间。

12.根据权利要求9所述的光学系统，所述第一光学透镜(202)的焦距的绝对值与所述第二光学透镜(204)的焦距的绝对值之比为0.994。

13.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述准直光波(OL_col)的生成装置(106)还包括：

-发射源光波(OL_source)的光源(108)；以及

-准直仪(112)，被配置用于接收所述测试图光波，并对所述测试图光波进行准直以用于提供准直光波(OL_col)。

14.一种光学测试台，包括：

-根据权利要求1到13中任一项所述的光学系统(102)，

-称为待测试的单元(104)的光学或光电监测系统，用于接收测试光波(OL_test)和提供来自于测试光波(OL_test)的图像，和

-信息处理装置，用于对所述图像实施一种或多种处理。