[发明专利]质谱仪阴极的电压供应装置

权利要求书

1.一种质谱仪阴极的电压供应装置，该装置包括:

提供有输入电压(U₁)的变压器(1)，该变压器具有至少一个第一输出(30)和/或第二输出(32)及输出侧中间接头(31)，

至少两个二极管(7、9)，通过它们的互相对应接头，即阴极或阳极，连接到该变压器(1)的不同输出(30、32)，该第一二极管(7)的接头连接到该第一输出(32)及该第二二极管(9)的接头连接到该第二输出(30)，分别给每个二极管(7、9)提供第一(8)和第二(10)晶体管，该第一(8)及第二(10)晶体管分别并联于各个二极管，以及每个晶体管(8、10)的源极接头连接到相应的二极管(7、9)的与该变压器(1)相反的接头，其特征在于:

该第一晶体管(8)的栅极连接到该变压器(1)的第二输出(30)及该第二晶体管(10)的栅极连接到该变压器(1)的第一输出(32)。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于该第一晶体管(8)的漏极接头连接到该变压器(1)的第一输出(32)及该第二晶体管(10)的漏极接头连接到该变压器(1)的第二输出(30)。

3.如前述权利要求任一项所述的装置，其特征在于在该变压器(1)的输出侧中间接头(31)和晶体管(8、10)的源极接头之间设置有由滤波电容(12)及扼流线圈(11)所构成的低通滤波器。

4.如前述权利要求任一项所述的装置，其特征在于，为了供给两个阴极，该装置设有用于该两个阴极的每一个的各个输出(Kat₁、Kat₂)，其中用于交替地驱动该两个阴极接头(Kat₁、Kat₂)的两个晶体管(19、20)连接到该变压器(1)。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于每个阴极接头(Kat₁、Kat₂)连接到该两个晶体管(19、20)中的至少一个的源极接头，其中当施加到各个栅极接头的晶体管电压超过施加到源极接头的阴极电压时，晶体管(19、20)驱动相关阴极接头(Kat₁、Kat₂)。

6.如前述权利要求任一项所述的装置，其特征在于由至少一个电压倍增器(16、17)从施加到该变压器(1)的第一输出(32)和/或第二输出(30)的输出电压产生直流电压(U3)。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于该至少一个电压倍增器由至少两个整流器(16、17)所构成，通过隔离电容(13、14)连接到该变压器(1)的两个输出接头(30、32)中的一个，从而提供主动路径，以及通过电容(15)连接到二极管(7、9)的与该变压器(1)的相反的接头，从而提供参考路径。

8.如权利要求6或7所述的装置，其特征在于该直流电压(U3)用于：

供给产生两个晶体管(19、20)的栅极电压的电压供应装置(21)，和/或

供给产生该质谱仪的阳极电压(U_A)的电压供应装置(18)，和/或

供给测量各个有源阴极(Kat₁、Kat₂)的发射电流的测量电路(23)。

9.如前述权利要求任一项所述的装置，其特征在于以脉冲宽度调制(PWM)的形式提供用于测量各个有源阴极(Kat₁、Kat₂)的发射电流的测量电路(23)。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于穿过两个第一电阻(26、29)的发射电流逐渐减少，该两个第一电阻串联于该中间接头(31)和两个二极管(7、9)的与该变压器(1)相反的接头之间，以及通过相互串联的且与该第一电阻(26、29)并联的两个电阻(27、28)来平均该发射电流。