[发明专利]电弧蒸发源

权利要求书

1.一种电弧蒸发源，在真空中利用电弧放电使阴极材料熔解、蒸发而在基材表面成膜，且包括形成为圆板形状的阴极、及配置于所述阴极的背面侧的磁场产生单元，所述电弧蒸发源的特征在于：

所述磁场产生单元构成为：利用在所述阴极的背面磁极朝向相对于所述阴极的放电面为20°～50°的方向配置的至少一个永久磁铁而产生磁场，所述磁场在所述阴极的外周面形成相对于所述基材方向为锐角的磁力线、在所述阴极的放电面的最外周部形成相对于放电面垂直的磁力线、在所述阴极的放电面的靠外周面的部分形成相对于所述阴极的中心方向为锐角的磁力线。

2.根据权利要求1所述的电弧蒸发源，其特征在于：

所述永久磁铁的磁极朝向相对于所述阴极的放电面为40°～45°的方向而配置。

3.根据权利要求1或2所述的电弧蒸发源，其特征在于：

在所述阴极的背面设置至少一个独立的磁场产生单元，所述独立的磁场产生单元以与所述阴极的放电面平行的面进行旋转。

4.根据权利要求1或2所述的电弧蒸发源，其特征在于：

在所述阴极的背面设置着至少一个磁场产生单元，所述磁场产生单元设置着能够使与所述阴极的距离发生变化的移动单元。