[发明专利]电子发射装置及电子发射显示器有效
申请号: | 201410024483.9 | 申请日: | 2014-01-20 |
公开(公告)号: | CN104795297B | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 柳鹏;李德杰;张春海;周段亮;杜秉初;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01J17/06 | 分类号: | H01J17/06;H01J17/49 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 发射 装置 显示器 | ||
技术领域
本发明涉及一种电子发射装置及具有该电子发射装置的电子发射显示器,尤其涉及一种基于碳纳米管的冷阴极电子发射装置。
背景技术
电子发射显示装置在各种真空电子学器件和设备中是不可缺少的部分。在显示技术领域,电子发射显示装置因其具有高亮度、高效率、大视角,功耗小以及体积小等优点,可广泛应用于汽车、家用视听电器、工业仪器等领域。
通常,电子发射显示装置中采用的电子发射源有两种类型:热阴极电子发射源和冷阴极电子发射源。冷阴极电子发射源包括表面传导型电子发射源、场致电子发射源、金属-绝缘层-金属(MIM)型电子发射源等。
在MIM型电子发射源的基础上,人们又发展了金属-绝缘层-半导体层-金属(MISM)型电子发射源。MISM型电子发射源的工作原理与MIM型电子发射源不相同,所述MIM型电子发射源的电子加速是在绝缘层中进行的,而MISM型电子发射源的电子加速是在半导体层中完成的。
MISM型电子发射源由于电子需要具有足够的平均动能才有可能穿过上电极而逸出至真空,而现有技术中的MISM型电子发射源中,由于电子从半导体层进入上电极时需要克服的势垒往往比电子的平均动能高,因而造成电子发射装置的电子发射率低,使得电子发射显示器的显示效果不够理想。
发明内容
有鉴于此,确有必要提供一种具有较高电子发射率及较高显示效果的电子发射装置及电子发射显示器。
一种电子发射装置,其包括多个条形第一电极及条形第二电极交叉且间隔设置,所述多个条形第一电极相互间隔并沿第一方向延伸,所述多个条形第二电极相互间隔并沿第二方向延伸,位于交叉位置处的条形第一电极与条形第二电极之间形成一电子发射单元,每一电子发射单元包括依次层叠设置的一半导体层及一绝缘层,所述条行第一电极为一碳纳米管层,所述半导体层包括多个孔洞,所述条形碳纳米管层覆盖所述多个孔洞,对应孔洞位置处的条形碳纳米管层悬空设置。
一种电子发射显示器,其包括:一基板,一设置于基板表面的电子发射装置,一阳极结构,所述阳极结构包括一阳极以及一荧光粉层,所述电子发射装置与所述荧光粉层相对且间隔设置,其中,所述电子发射装置采用上述所述的电子发射装置。
与现有技术相比较,本发明提供的电子发射装置及电子发射显示器中中,由于第一电极为碳纳米管层,有利于电子出射;并且半导体层中设置有多个孔洞,能够减少电子穿越半导体层造成的能量损失,从而电子能够更加容易的从孔洞位置处透射出碳纳米管层,并且使得电子具有更大的动能以穿过所述碳纳米管层形成电子发射,提高了电子发射率,使得所述电子发射显示器具有更好的显示效果。
附图说明
图1是本发明第一实施例提供的电子发射源的结构示意图。
图2是本发明碳纳米管膜的扫描电镜照片。
图3是本发明多层交叉设置的碳纳米管膜的扫描电镜照片。
图4是本发明非扭转的碳纳米管线的扫描电镜照片。
图5是本发明扭转的碳纳米管线的扫描电镜照片。
图6是本发明第二实施例提供的电子发射源的结构示意图。
图7为电子发射源中具有汇流电极的结构示意图。
图8为本发明第三实施例提供的电子发射装置的结构示意图。
图9是本发明第四实施例提供的电子发射装置的结构示意图。
图10是图9中电子发射装置中所述电子发射源沿X-X线的剖视图。
图11是本发明第五实施例提供的电子发射显示器的结构示意图。
图12为图11所述电子发射显示器的电子发射显示效果图。
图13为本发明第六实施例提供的电子发射装置的结构示意图。
图14为图13所述电子发射装置沿XIV-XIV线的剖视图。
图15为本发明第七实施例提供的电子发射显示器的剖视图。
主要元件符号说明
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